メールマガジン
SPT通信 vol.48
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」と遠隔支援サービスのご紹介
お客様各位
いつもお世話になります。
SPPテクノロジーズ株式会社 マーケティング部の菅 千絵子です。
明日はバレンタインデー。
日本では主に、「女性から男性にチョコレートを贈る」イベントですが、個人的には、男女関わらず、「好きな人に感謝を伝える日」。
イベントって「きっかけ」をくれるので、乗っからない手はないです。
ということで、今日はメルマガ読者のみなさまに、私から日頃の感謝をお伝えさせていただきます。
いつもSPPテクノロジーズをご愛顧いただき、どうもありがとうございます。
今後とも、どうぞよろしくお願いいたします。
【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします
【02】新製品のご紹介!~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
【03】遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中!~
【04】定期メンテナンス契約/スペアパーツ販売/装置アップグレード/トレーニングのご案内
■社員に訊いてみました ~京都は〇〇の発祥地!?~
■編集後記 ~ふたり駅伝完走物語と前回の回収~
【01】
「LinkedIn」フォローよろしくお願いします!
今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなっていきます。
そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。
フォロワー数に伸び悩んでいましたが、じわじわと増えて、117名!
つながってくださいましたみなさま、ありがとうございます。
でもやはりこのメルマガ読者さま全員とつながりたい。
まだご登録されていない方は、是非ともご登録をお願いいたします。
また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎!
ぜひぜひ、SPTのアカウントをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。
SPTのLinkedInを見る【02】
新製品のご紹介!~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
SPPテクノロジーズでは、超低ダメージプロセス装置を『SEMICON Japan 2023』弊社ブースにて発表させていただきました。
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」
特長
熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料(レジスト膜、樹脂基板等)の上への良質成膜を可能としました。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus 300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。
想定するアプリケーションの例
- 量子コンピュータ素子部(ジョセフソン接合部)
- 光学デバイス(LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板等利用)
- 大口径ウェハ パワーデバイス(プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制)
超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー
特長
従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。
想定するアプリケーションの例
- 高周波HEMTデバイス
- 受光デバイス
- 発光デバイス、例えば、マイクロLEDの高輝度化

【03】
遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中!~
SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢を反映した新しいサポートサービスの形態です。
- 必要な時に繋がる安心
- 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止
- 熟練技術者による高度な支援
- 原因特定・移動時間の削減
- 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感
これらを提供いたします。
具体的には、Microsoft HoloLens 2(Microsoft 社)を通して遠方のお客さま現場と弊社サポート員をつなぎ、リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。
多くの方に実感していただくためにも、トライアルも積極的に取り組んでまいります。
ご興味がございましたら、ぜひ下記までお問い合わせくださいませ。
【03】
定期メンテナンス契約/スペアパーツ販売/装置アップグレード/トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック&メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか?
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか?
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
社員に訊いてみました ~京都は〇〇の発祥地!?~
みなさま、こんにちは。資材部のKと申します。
私は普段、ゲームやアニメ鑑賞を趣味としており、あまり活動的ではないのですが、ひとつ、ライフワークとして長年取り組んでいることがあります。
それは、『天皇盃全国車いす駅伝競走大会』のボランティア活動です。
この大会は、京都で毎年3月の第2日曜日に開催され、今年で36回目となります。
京都は駅伝の発祥の地とも呼ばれ、駅伝大会が盛んな場所です。
そんな歴史ある地で行われる車いす駅伝は、車いすレーサーたちがひとつのチームとなって競い合う大会として、多くの注目を集めています。
駅伝というチーム競技の特性上、選手たちは10代から70代まで幅広い年代で、年齢を超えた熱い戦いが各区間で繰り広げられます。
また、大会には、パラリンピックで活躍されている選手も参加しており、彼らの力強い走りを間近で見ることができるのが大きな魅力です。
特に感動的なのは、車いすレーサーの最高時速が50kmに達する瞬間。
その速さを沿道で実際に感じられるのは、応援する側としても非常に貴重な体験です。
私は主にゴール地点のたけびしスタジアム京都にスタッフとして詰めておりますが、ゴールした選手のやりきった笑顔を間近で見ると毎回感動を覚えます。
今年もYouTubeでの配信が予定されており、遠方の方々も大会を応援することができるようになっています。
私は大会を通じて、選手たちの勇気や頑張りを間近で感じ、日々の生活にも活力をもらっています。
もしお時間があれば、ぜひ大会をYouTubeや現地で応援していただけますと幸いです。
編集後記 ~ふたり駅伝完走物語と前回の回収~
駅伝と聞くと思い出すのが、29歳の2月。
たまたま駅伝好きの同期と話していた時、彼が言いました。
「5区の山登りが好きで、よく一人で走りに行くんだよね」
マラソンが趣味だった私は思わず、「いいね!!」と声を上げると、
「今度一緒に行く?」
「えっ? あ、う、うん」
正直、坂道(登り)がニガテだった私は若干ひるんだのですが、ここであることを思いついたのです。
「よかったら1か月に1区、毎月走って12月に完走しようよ!」
元日生まれの私にとって、29歳残すところ10か月。
20代ラストの年に何かできないかな? と漠然と思っていたところの閃きです。
そしてその提案に乗ってくれた彼と毎月1区走る旅がはじまりました。
普通なら12月に10区でゴール、となるところですが、
5区の山登りをラストに定めて、6区からスタート。
順調に毎月1区ずつ完走し続け、ぶじ12月に5区の山登りを走り切り、芦ノ湖でゴール!!
ゴール地で待っていてくれたのが、彼の奥さまと私の彼氏……ではなく、親友。
その親友は幼稚園からの幼馴染で、私の心の友。
そういえば、前回のメルマガ編集後記で「1月にディズニーに行きます」と記載しましたが、その彼女と一緒に行ってきました。(数年ぶりの再会)
話が変わってきましたが、せっかくなので彼女とのディズニーの話を続けます。
(前回のメルマガの回収をします。笑)
『社員に訊いてみました ~ディズニーマニア家族の3つのインパルールとは?~』
を受けて、パークで「締めのアトラクションを決めてきます!」と前回言いましたが、親友と最後(締め)に乗ったアトラクションがこちら。
「フランダーのフライングフィッシュコースター」。
なぜこれにしたかというと、彼女は新卒で第一生命に入社したので、ディズニーシーには特別にオープン前に訪れていて、その時に初めて乗ったアトラクションが、「フランダーのフライングフィッシュコースター」だったのだとか。
「ジェットコースター系は無理」と言っていたのですが、「これなら乗れる」ということで、締めに乗ることにしたのです。
「これなら大丈夫」と言っていた彼女ですが、それなりにスリリングで、終わってから「楽しかったね~」とふと隣を見ると……
泣いてるじゃないですか!笑(笑ってごめんね)
でもこんなことを言ってくれました。
「たぶん、ディズニーに来る機会ってもうないと思うんだけど、
始めと終わりにこれに乗れてよかった! ありがとう!!」
ディズニーラスト宣言!?
これには驚きましたが、
でもなんだか……
彼女の大切な人生の想い出の一部になれた気がして、うれしかったです。
(文責:菅千絵子)
