メールマガジン
SPT通信vol.58
60年の実績を誇る『縦型熱処理装置 AVP』とは？
【01】装置特集 ～縦型熱処理装置～
【02】アフター営業グループからのご案内
■ 社員に訊いてみました ～PC小技いろいろ2025秋 編～
■ 編集後記 ～仕事とは？～
【01】装置特集 ～縦型熱処理装置～
今回は、縦型縦型熱処理装置「AVP」を紹介させていただきます。
長きにわたる実績があります！ 60年。ちなみに、Si DRIE国内販売は30年になります。
米国カリフォルニアに所在する熱処理装置部門で開発・販売しており、日本には輸入します。
導入実績はこちら
この装置、最高プロセス温度は1,150℃程度、なぜこの温度なのか？
この装置、石英製のチューブ（装置の核：炉管＝プロセス室）とボート（ウェーハ設置場所。一度に200枚置きまで可能）を備えます。
これらの石英パーツの耐熱温度（ひずまない温度）に依っています。
SiCパーツを使っていただくと、この限りではありませんが。
シリコン酸化膜を形成することも得意としています。
シリコン酸化（表面の改質に相当します）の手法は主に3例
- ドライ酸化：酸素を使います。高品質のシリコン酸化膜を形成できます。絶縁性に優れています。
- ウェット酸化：水蒸気を使います。ドライ酸化よりも高速でシリコン酸化膜を形成できます。
- パイロジェニック酸化：酸素と水素を使います。酸化源の量を精密に制御できます。
この装置でLPCVDプロセスも可能です。
シリコン酸化膜、シリコン窒化膜を形成するのが得意です。
シリコン窒化膜はMEMSマイクロフォンの音響振動板（メンブレン）として使われています。
- Highly-sensitive wafer-scale transfer-free graphene MEMS condenser microphones
- Large band MEMS microphone for high frequency acoustic applications in air (10 kHz -1MHz)
少々変わり種プロセスでは、水素リフローアニール
水素雰囲気下でシリコンを加熱すると（1,000℃）微細加工したシリコンの角が取れるのです。
かなり驚きのなめらか表面になります。
プラズマを使わないSPTの縦型熱処理装置にも、ご興味を持っていただけますと幸いです。
その他、HF Vapor ガスエッチング装置「Vetelgeuse」5枚バッチ処理可能 もプラズマを使っておりません。
これからも変わらず、お客さまに寄り添った新しい提案をさせていただきます。
各種プロセスへのご相談をお待ちしております。
お問い合わせ【02】アフター営業グループからのご案内
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ～PC小技いろいろ2025秋 編～
みなさま、こんにちは。
Ｆと申します。便利なPC小技探しを生き甲斐にしています。
2025年度下半期が始まりました！
全社一丸となって良い感じのスタートを切るべく、
早速ですが、秋の小技を紹介させていただきます。
- 離席時にPC画面をロック。ちょっとした離席時でも他者に画面を見られないようにロックします。※あなた画面はよく見られています！！【Windows】＋【L】
- 【F5】キーでパワーポイントプレゼンテーションを始められます。【ESC】で中止できます。プレゼンテーション中に 【-】 を押すと、スライド一覧表示できます。
- 「PDF形式」→「Word形式」にデータ変換する。Word起動→[開く]タブより→[参照]→Word化したいPDFを選択→[開く]で、Word形式で表示
- パワーポイントファイル内から画像データを抽出する。まずはオリジナルファイルからコピーを作成、拡張子を.zipへ変更する。変換された.zipフォルダ内の\ppt\mediaフォルダ内に画像ファイル一式が。
- エクセルで、長い列・長い行の端に跳びます、端まで選択します。※ただし空白があると、そこで止まってしまいます。端まで跳ぶ：【Ctrl】+【行きたい方向の矢印↓→↑←】端まで選択する：【Shift】+【Ctrl】+【行きたい方向の矢印↓→↑←】★応用して、端の端まで選択できます。【Shift】+【Ctrl】+【↓】 の後にさらに追加して【→】
- エクセルブック内の各シートの表を、新しく作った１枚のシートに連結してまとめる。“VSTACK関数”が使えます。 「=VSTACK(シート1!範囲, シート2!範囲, シート3!範囲,…)」
- エクセル技！複数のシートの表を一瞬で合体させる方法
今回は以上となります！
新年度、ぜひこちらの小技を活用して業務効率化してみてくださいね！
編集後記 ～仕事とは？
みなさん、「仕事とは？」と訊かれたら、どう答えますか？
先日、印象に残る言葉を耳にしました。
「仕事とは、なんとかすること」。
なんと潔く、そして深い言葉でしょう。
一般的には「人が社会的な価値を生み出し、その対価として報酬を得る活動」
――そんな定義が浮かびます。
けれど、現実の現場はきれいごとではありません。
トラブルが重なり、予定は狂い、思わずため息が出る。
それでも最後には、「なんとかする」。
その一言に、人の仕事の本質が詰まっている気がします。
社会に価値を生み出すというのは、簡単なことではありません。
でも、「なんとかする」という想いの積み重ねが、やがて確かな結果へと変わっていく。
仕事とは、そうやって世界を少しずつ前に進める力。
そう信じて、今日も仕事に勤しみます！