30年以上 の技術開発
500台以上 の納入実績
プラズマ・ソリューション
縦型熱処理装置
SPTのソリューション
実証されたプロセス性能、世界から選ばれるSPTのソリューション
蓄積された経験と数千台におよぶ納入実績。精度、信頼、技術革新で、世界から選ばれています。
プラズマ装置
熱処理装置
60年以上 の技術開発
1600台以上 の納入実績
ソリューション
MEMS、パワーデバイスなど、幅広い用途と開発をサポートするSPTのソリューション
製品
精密、信頼、スケーラブル。
SPTの幅広いプラズマ装置と縦型熱処理装置。
サポート
お客様の装置がいつでも最高のパフォーマンスで稼働するために。
インストール、メンテナンス、アップグレードまで幅広くサポート。
