プラズマ技術への挑戦と革新
- 1984Electrotechが英国ブリストルでSpecial Research Systems (SRS) を設立。
- 1989SRSは社名をSurface Technology Systems (STS) に変更し、英国ウェールズ南部に拠点を移転。統合型半導体製造プラットフォーム「IX200」の開発を開始。
- 1992IX200を発表。STSは日本の住友精密工業 (SPP) と独占販売契約を締結。
- 1993STSと独国のRobert Boschが、Bosch Si DRIEプロセスの共同開発を開始。SPPが日本市場におけるSTS製品の正規販売代理店に選出。
- 1994Robert Boschによるスイッチング・プロセス特許成立。
(USA: 5501893, DEC: 4241045, JPB: 4090492)
- 1995Electrotech がSPPにSTSを譲渡。世界初のBoschプロセス対応Si DRIE装置が、日本・米国・欧州へ向けて出荷。
- 2001SPP独自設計のSi DRIE装置「MUC-21」の国内生産開始。
- 2003SPPが米国PrimaxxおよびXACTIX製犠牲層シリコン酸化膜エッチング装置の国内販売を開始。
- 2007SPPがPrimaxx (犠牲層シリコン酸化膜エッチング装置メーカー) を買収。STSが再びSPPの完全子会社となる。
- 2009SPPがAVIZA Technology (AVIZA)の製品群を取得し、英国でSPP Process Technology Systems (SPTS) を設立。AVIZAとSTS両社の技術を融合。Pegasus300 Si DRIE装置をリリース。
- 2011SPTSがTegalのSi DRIE事業を取得。マネジメント・バイアウトが完了し、SPTS Technologiesとなる。日本では、SPPとSPTSが合弁会社としてSPPテクノロジーズ (SPT) を設立。
- 2015SPTSの米国の熱処理装置事業をSPTが引き継ぎ、SPT Microtechnologies USAを設立。SPTの技術ポートフォリオが大幅に拡大。
- 2024SPTはSPTSとの資本関係を解消し、SPPの100%子会社となる。
縦型熱処理装置の沿革
- 1962THERMCO Systemsが米国で設立。
- 1988Silicon Valley Group (SVG) が THERMCO Systemsを買収。
- 2001ASMLがSVGおよびTHERMCO Systemsを買収。
- 2003AVIZA Technology (AVIZA) が熱処理装置事業部門を買収。
- 2009住友精密工業 (SPP) がAVIZA熱処理装置部門を買収。
- 2011熱処理装置事業のマネジメント・バイアウトはBridgepointにより実現。
- 2014OrbotechがSPTS (熱処理装置部門を含む) を買収。
- 2015SPPが熱処理装置事業を買収。SPT Microtechnologies USAとなる。
