製品
エッチング
エッチングについて詳しく見るMEMS、パワーデバイス、先端半導体のプロセスで高い信頼性を誇るエッチングソリューション。
PECVD
PECVDについて詳しく見る低温でも優れた膜厚制御を実現する高品質なPECVD。先端半導体や特殊デバイス製造に最適なソリューション。
縦型熱処理装置
縦型熱処理装置について詳しく見るSPTの縦型熱処理装置 (バッチ式) はアプリケーションや構成、基板使用に合わせて最適にカスタマイズ可能です。
MEMS、パワーデバイス、先端半導体のプロセスで高い信頼性を誇るエッチングソリューション。
低温でも優れた膜厚制御を実現する高品質なPECVD。先端半導体や特殊デバイス製造に最適なソリューション。
SPTの縦型熱処理装置 (バッチ式) はアプリケーションや構成、基板使用に合わせて最適にカスタマイズ可能です。
