SPPテクノロジーズ

大気圧熱処理装置

APCVD

Watkins Johnson (WJ) の自己洗浄式ベルトコンベア方式を採用した、大気圧CVD装置です。

APCVD

WJが開発したレガシータイプのウェーハ搬送システムは、自己洗浄式のベルトコンベアを採用しており、誘電体ギャップフィル用途における高い信頼性と優れたコスト効率を実現します。

特長

SPTのAPCVD装置が選ばれる理由

Watkins Johnson (WJ) による技術革新を礎に、当社のAPCVD装置は、確かな信頼性、均一な成膜性能、長期的なサポート体制を備え、誘電体ギャップフィルに最適化されています。

高い信頼性の自己洗浄式ベルトコンベアシステム

レガシー搬送技術により、安定した動作とダウンタイムの最小化を実現。
高スループットかつ低コストでの誘電体ギャップフィル用途に最適です。

成膜均一性を実現する特許取得済みリニアインジェクター

WJ独自のリニアインジェクターにより、精密かつ再現性の高いAPCVD成膜を実現。
ウェーハ内の成膜均一性に優れ、トランジェント (過渡) 特性も発生しません。

長期サポートとアップグレード対応

SPTは、WJ-APCVD装置向けに継続的な保守、スペアパーツの供給、性能向上のためのアップグレード対応を行っています。
部品の近代化により、既存システムの延命が可能です。

スペアパーツとアップグレード

お客様の装置をより長く、これからもご使用いただくために

以下のプラットフォームをご利用の場合、メーカー認定のスペアパーツおよびアップグレードを提供しています。

  • WJ-999

  • WJ-1000

  • WJ-1500

  • チャンバー数

  • 3

  • 4

  • 4

  • 対応プロセス

  • TEOS, Hydride

  • TEOS, Hydride

  • TEOS

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