APCVD
WJが開発したレガシータイプのウェーハ搬送システムは、自己洗浄式のベルトコンベアを採用しており、誘電体ギャップフィル用途における高い信頼性と優れたコスト効率を実現します。
大気圧熱処理装置
Watkins Johnson (WJ) の自己洗浄式ベルトコンベア方式を採用した、大気圧CVD装置です。
WJが開発したレガシータイプのウェーハ搬送システムは、自己洗浄式のベルトコンベアを採用しており、誘電体ギャップフィル用途における高い信頼性と優れたコスト効率を実現します。
特長
Watkins Johnson (WJ) による技術革新を礎に、当社のAPCVD装置は、確かな信頼性、均一な成膜性能、長期的なサポート体制を備え、誘電体ギャップフィルに最適化されています。
レガシー搬送技術により、安定した動作とダウンタイムの最小化を実現。
高スループットかつ低コストでの誘電体ギャップフィル用途に最適です。
WJ独自のリニアインジェクターにより、精密かつ再現性の高いAPCVD成膜を実現。
ウェーハ内の成膜均一性に優れ、トランジェント (過渡) 特性も発生しません。
SPTは、WJ-APCVD装置向けに継続的な保守、スペアパーツの供給、性能向上のためのアップグレード対応を行っています。
部品の近代化により、既存システムの延命が可能です。
スペアパーツとアップグレード
以下のプラットフォームをご利用の場合、メーカー認定のスペアパーツおよびアップグレードを提供しています。
WJ-999
WJ-1000
WJ-1500
チャンバー数
3
4
4
対応プロセス
TEOS, Hydride
TEOS, Hydride
TEOS
お客様のニーズに応える、SPTのソリューション。