RVP-300/RVP-550
300mmファブ元年と言うべき1999年に、世界で初めて300mm対応のバッチ式熱処理炉として導入されたシリーズ。
以来、継続的な改良を重ね、RVP Aceの開発にもつながる高性能モデルとして進化してきました。
縦型熱処理装置
200mm、および300mmウェーハ対応の高速バッチ式熱処理炉
300mmファブ元年と言うべき1999年に、世界で初めて300mm対応のバッチ式熱処理炉として導入されたシリーズ。
以来、継続的な改良を重ね、RVP Aceの開発にもつながる高性能モデルとして進化してきました。
特長
高スループットが求められる300mm処理に対応可能な設計、また温度制御性能にも優れています。
スマートなレイアウトは、装置間のサイドスペースをゼロに抑え、ファブ内スペースと運用効率を最大化します。
対応プロセス
RVP-300 / RVP-550は、LPCVDからALDまで多様な熱処理プロセスに対応可能です。
高温ステップ(最大1200℃)にも安定した温度制御で対応し、300mm製造環境において高いプロセス安定性を実現します。
お客様のニーズに応える、SPTのソリューション。