SPPテクノロジーズ

縦型熱処理装置

RVP-300/RVP-550

200mm、および300mmウェーハ対応の高速バッチ式熱処理炉

RVP-300/RVP-550

300mmファブ元年と言うべき1999年に、世界で初めて300mm対応のバッチ式熱処理炉として導入されたシリーズ。
以来、継続的な改良を重ね、RVP Aceの開発にもつながる高性能モデルとして進化してきました。

特長

生産実績を信頼に。高スループット設計と優れた温度制御

高スループットが求められる300mm処理に対応可能な設計、また温度制御性能にも優れています。
スマートなレイアウトは、装置間のサイドスペースをゼロに抑え、ファブ内スペースと運用効率を最大化します。

300mm量産にも対応可能な特長

  • 業界で量産実績のある、300mm対応バッチ炉 (RVP-300plus/550)
  • 優れた生産性
  • APCVDおよびLPCVDの各種プロセスに対応
  • ファブ内の設置面積を最小限に抑えたコンパクト設計
  • サイドスペース不要で複数装置を並列設置できる革新的パッケージ構造
  • 背面からの優れたメンテナンスアクセス
  • 高度な温度制御性能
  • 急速昇温ヒーターと強制空冷による迅速な昇温・冷却
  • 処理温度への到達・冷却時間を短縮する独自の温度制御ソフトウェア

対応プロセス

酸化・成膜・アニールまで、幅広い熱処理プロセスに対応する汎用性

RVP-300 / RVP-550は、LPCVDからALDまで多様な熱処理プロセスに対応可能です。
高温ステップ(最大1200℃)にも安定した温度制御で対応し、300mm製造環境において高いプロセス安定性を実現します。

  • ウェット/ドライ熱酸化
  • ラジカル酸化
  • シリコンナイトライド (ストイキオメトリック・低ストレス)
  • TEOS、SiH₄、DCSを用いたSiO₂成膜
  • ドープ (P、As、B) およびアンドープポリシリコン
  • 原子層堆積 (ALD)
  • アニール・キュア処理 (100~1200℃超)

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