メールマガジン
SPT通信 vol.10
SEMICON Japan 2022 出展案内と酸化膜ガスエッチング装置Vetelgeuse
【01】「SEMICON Japan2022@東京ビッグサイト」（12/14~12/16）に出展します！
【02】装置特集：シリコン酸化膜ガスエッチング装置 「Vetelgeuse」 をご紹介
【03】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレードのご案内
社員に訊いてみました ~とっておきサバ缶レシピ~
編集後記 ~3週間といえば？~
【01】
「SEMICON Japan2022@東京ビッグサイト」（12/14~12/16）に出展します！
- 名称： 「SEMICON Japan2022」
- 会期： 2022年12月14日（水）~12月16日（金）
- 会場： 東京ビッグサイト
〒135-0063 東京都江東区有明３丁目１１-１ - ブース： 東4ホール【4122】
弊社ブースでは、現在普及しているIoT／IoEならびに5Gや、自動運転などで重要な技術として注目されている化合物半導体デバイス、MEMSセンサーの製造装置を紹介させていただきます。 - イベント： 「ハッピーアワー」
◎日時：12月15日（木）16時~
◎場所：SPTブース【東4ホール：4122】
◎内容：神戸酒心館「純米吟醸 福寿」・「福寿 純米酒 エコゼロ」
「福寿 純米酒 エコゼロ」はナント！ 世界初カーボンゼロの日本酒です。
醸造の工程において二酸化排出ネット・ゼロを達成。
100社以上のメディアで取り上げられました。
フレッシュな果物と滑らかな米の旨味が特徴の「純米吟醸 福寿」と、端麗辛口な旨味が特徴の「福寿 純米酒 エコゼロ」。
2つの違った味わいをぜひご堪能くださいませ。
みなさまのご来場を心よりお待ちしております。
【02】
装置特集：シリコン酸化膜ガスエッチング装置 「Vetelgeuse」 をご紹介
今回は「Vetelgeuse」をご紹介させていただきます。
「Vetelgeuse」はシリコン酸化膜の等方ガスエッチング装置（プラズマ不使用）です。
研究開発用途に適したXactix(R) e2 / X4- Series TM、量産用途 Xactix(R) CVE があります。
VetelgeuseでのエッチングにはHF蒸気（HF Vapor）を用います。
MEMSやマイクロフォトニクス部品の作製時に必要な犠牲層（sacrificial layer）エッチング工程において、ウェットエッチング手法を用いる場合に問題となるスティッキング（構造表面同士の固着）を解決することができます。
SPTでは、エッチングレートならびに他の材料とのエッチング選択比を向上させる等に関する知見の蓄積を行なってきました。
ガスを用いたシリコン酸化膜（／シリコン）の等方エッチング・犠牲層エッチングについて、お困りのことがありましたら、まずはご相談くださいますようお願いいたします。
【02】
定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
社員に訊いてみました ~とっておきサバ缶レシピ~
結婚してからずっと、妻の家事の負担を減らすために土日は私が料理を担当しております。
その腕を買われ、弊社同好会の1つ、マラソンクラブの合宿料理長を担当しております池本と申します。
（勿論走る方も担当しています！）
今回はそんな料理長を任される私がお勧めするサバ缶を用いた簡単レシピをご紹介いたします。
何故サバ缶か？
TVでも紹介されることもあり、ご存知の方もいらっしゃると思いますが、サバと侮るなかれ。
サバ等の青背魚はとてもヘルシーな食材で、良質なたんぱく質に加えDHAやEPA、ビタミンDが豊富に含まれています。
更にサバ缶は、その缶汁にそれらの大事な栄養素が溶け込んでいますので、身のみならず缶汁を用いて料理すると、大事な栄養素を接種することができますので、お勧めする食材です。
しかも安い！ もうサバ缶を使わない理由はありません。
また青背魚の缶詰にはイワシやサンマの缶詰もありますので、そちらも試してみては如何でしょうか。
同じ様に栄養豊富な缶詰です。
それでは、お勧めサバ缶レシピをご紹介します！
【1】サバ缶炊き込みご飯
普通にご飯を炊く際に、サバ缶を缶汁ごと投入してご飯を炊くだけ！
包丁使わないので、すごい簡単ですよね。
私のお勧めは味噌味のサバ缶です。味噌の味がしてとても美味しくなります。
お好みでキノコを入れると更にヘルシーに。
もっとヘルシーにするには糖質の多いご飯の分量を少なくして玄米を加えると尚ヨシ！
【2】サバ缶パスタ
オリーブオイルで、しめじ等のキノコや玉ねぎ、キャベツなどの野菜を炒めたらサバ缶を汁ごと投入しさっと火を通します。
味付けはお好みで塩コショウや醤油等で。茹でたパスタを具材に絡ませれば完成！
【3】サバ缶そのまま
一番簡単な食べ方！ サバ缶をお皿に取り出して、サバ本来の味を楽しむもヨシ、塩やマヨネーズで味付けするもヨシ！ 簡単なおつまみになりますよ。
サバ缶には無限の料理方法があります。
こうして執筆している途中も多くのレシピを考えました。
家庭で試してみて、好評でしたらご紹介させていただきますね。
みなさんも是非栄養豊富なサバ缶を用いて料理してみてください。
奥様や彼氏彼女さんの見る目が変わるかもですよ！！
編集後記 ~3週間といえば？~
もうすぐランチタイム。お腹が空いてきましたね。笑
私もマラソンクラブの一員ですが、池本料理長の腕前を知る身として、サバ缶レシピをオーダーさせていただいたのにはもう一つ理由があります。
前回のメルマガでもご紹介させていただきましたが、
来る12月14日（水）~16日（金）に開催される「SEMICON Japan2022」のノベルティにとっておきの「生サバ缶」をご用意しています。
そのままでもとっても美味しいのですが、ご家庭でアレンジいただいてもいいな、と思った次第です。
三陸産のサバを一つずつ丁寧に手作業で「菊詰」にし、添加物を使用しないことがこだわりの「生サバ缶」。
ぜひSPTブースでGetし、新鮮な生サバ缶を味わってくださいませ。
2022年も残すところあと3週間。
さて、3週間といえば？
俗にいう、「習慣化するまでの期間」。
私はいつもこの編集後記を執筆するにあたり、意識しているポイントが2つあります。
- お役立ち情報
- きっかけ
何かしらのお役立ち情報か、何かを始めたりするきっかけになればいいな、という想いのもと、お届けしています。
そこで大変ベタではありますが、2022年もラスト3週間。
せっかくなら何か新しい習慣を身に付けるきっかけになったらいいな、と思ったわけです。
- 朝一で白湯を飲む習慣
- お風呂に入る前にスクワットをする習慣
- 寝る前に日記を書く習慣 etc……
とてもとても、ちいちゃくて人様に公言できるような習慣ではないですが、今の私の習慣になっていることです。
せっかくなので、これに加えて、
- 夜ヨガをする
これを3週間で習慣化させてみようと思います。
この時期にはじめる利点というのが2つあって、1つ目は、3週間でやっぱり無理だと思ったら綺麗さっぱり捨て去り、2022年の思い出として、そっとやめることができる。
2つ目は、万が一3週間で習慣化したら、来年には「去年からずっと習慣化してるんです」と言えちゃうことです。笑
だから、ハードル高めで設定してみるのがおすすめです。
夜ヨガのどこがハードルが高いって？
実は私、夜の晩酌が毎日の楽しみ。
夜ヨガをするには、その楽しみを断ち切る必要があるので、私にとってかなりハードルが高めなんです。
。。。とりあえず、毎日はちょっときついかもしれないので、週に3回から夜ヨガを実践していきたいと思います。（←自分に甘め）
（文責：菅千絵子）