メールマガジン
SPT通信 vol.32
新製品Capellaと遠隔支援サービスの最新情報
【01】新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
【02】遠隔支援サービス提供中！~共同開発SCSK（株）宮田文一氏にインタビュー遠隔支援サービスの要である『デジタル遮蔽機能とは？』~
【03】新春お年玉企画 アンケート多数のご回答ありがとうございました！引き続き、アンケートのご協力をお願いいたします
【04】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
■編集後記 ~自由とは~
【01】
新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
SPPテクノロジーズでは、超低ダメージプロセス装置を『SEMICON Japan 2023』弊社ブースにて発表させていただきました。
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」
デモンストレーションご要望をお待ちしております。
特長
熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料（レジスト膜、樹脂基板等）の上への良質成膜を可能としました。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus 300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。
想定するアプリケーションの例
- 量子コンピュータ素子部（ジョセフソン接合部）
- 光学デバイス（LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板等利用）
- 大口径ウェハ パワーデバイス（プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制）
超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー
特長
従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。
想定するアプリケーションの例
- 高周波HEMTデバイス
- 受光デバイス
- 発光デバイス、例えば、マイクロLEDの高輝度化
【02】
遠隔支援サービス提供中！~共同開発SCSK（株）宮田文一氏にインタビュー: 遠隔支援サービスの要である『デジタル遮蔽機能とは？』~
SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢を反映した新しいサポートサービスの形態です。
お困りごとにリアルタイムで気軽に繋がれ、スピーディーな課題解決と共に、視界共有と音声通話で隣にいるような安心感をご提供いたします。
具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客様現場と弊社サポート員を繋ぐことで、
- “ 原因の特定・移動時間の削減 ”
- “ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
- “ 熟練技術者による装置の予防保全などの高度な作業支援 ”
- “ 指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニング ”
を実現いたします。
~共同開発SCSK（株）ビジネスデザイングループ デジタルイノベーションセンター事業開発第一部担当部長 宮田文一氏にインタビュー
遠隔支援サービスの要である 『デジタル遮蔽機能とは？』~
スマートグラス（マイクロソフト社製「ホロレンズ2」）を活用することで、
装置の点検・トラブル時の原因特定の早期化など、製造現場でのより効率的なサポートを実現していますが、導入先企業が情報漏洩を心配する声もありました。
しかしデジタル遮蔽機能（特許取得済み：2021年1月20日 第6827134号）の開発により、安心して導入いただける環境を整えることができました。
デジタル遮蔽機能は、装置の3DCADデータを事前に認識・設定させ、作業の際にあらかじめ装置に貼り付けてあるQRコードを読み込むことで、平面（2D）での遮蔽だけでなく、上下左右・表裏など3Dでの遮蔽を実現しています。
また、SHA256によるカギ生成と、AESにより暗号化した音声・映像通信を行うとともに、企業IDやユーザーID・パスワードによる認証を行い、現場で支援されるエンジニアと装置メーカー側で遠隔サポートする支援者が1対1のクローズドな通信環境で作業を行うため、非常に高いセキュリティー性も確保することができています。
アンケート結果でも、セキュリティーを懸念されるお客さまがいらっしゃいました。
半導体や電子部品などの最先端の製造工場では、非常に秘匿性の高い情報が溢れていますから、当然の懸念点です。
しかし、このデジタル遮断機能があれば、安心して導入いただけます。
多くの方にこのサービスの素晴らしさを実感していただくためにも、トライアルも積極的に取り組んでまいります。
ご興味がございましたら、ぜひ下記までお問い合わせくださいませ。
【03】
新春お年玉企画アンケート多数のご回答ありがとうございました！
引き続き、アンケートのご協力をお願いいたします
メルマガ配信はいつも一方的ですから、ぜひ生の声をお聞かせいただきたい……
ということで、ご協力をお願いしているアンケート。
1月のメルマガでは、「新春お年玉企画」と題しまして、アンケートをお願いしたところ、多数の方にご協力いただき、マーケティング部一同感謝の気持ちでいっぱいです。
Special Thanksな贈り物として、「おめでたい」をテーマに選ばせていただいた一品、金粉の●●は、1月限定とさせていただきましたが、引き続きご協力いただいたみなさまには、お気に入りの一品を贈らせていただきます。
みなさまの忌憚なきご意見、SPT一同、心よりお待ちしておりますので、まだご回答いただいていない方は、ぜひこの機会にご協力くださいませ。
【04】
定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
編集後記 ~自由とは~
先日、バリ在住のヨガの先生に会いに行ってきました。
朝の5時から21時頃まで、ヨガ・氣功・ワークショップとなかなかハードな5日間でしたが、豊かさが詰まった大変貴重で得難い経験となりました。
その中でも印象深い体験をひとつシェアさせていただきます。
みなさんはご自身を【自由】だと感じていますか？
私は長い間、自身のことを【不自由】だと感じていました。
物理的に何か不自由な状況下にある、というよりも、「私は自由人ではない＝不自由」という式が潜在意識にしみついている感じでしょうか。
だから【自由】という言葉に、憧憬があります。
今回のワークショップのひとつに、「ダンスをする」というのがありました。
「ミュージックが流れたら、自由に踊ってください」
ヨガの先生は元々プロのダンサーですし、旦那さまも元DJ。
リズム感抜群な先生たちと同じ空間で私がダンスをする。
その状況を理解したとき、恐れと共にふとあることを思い出したんです。
数年前に読んだ『人間』又吉直樹（著）の一節です。
「最近、外歩いてたら自然と踊りたくなるときあんねん。思春期の頃、あんなにも踊ることに抵抗があったのは、本能に対する恐れやったかもしれん。踊りというのは誰かが発明したものではなくて、ほっといたら自然な現象なんやろな。踊りそうにない人と認識されているせいで、自分が躍るということは、もはや踊ることとは別の意味をもってしまうと自覚しているからそうせえへんのかな」
本来、ほっといたら誰もが自然としてしまうほど、踊りというのは本能的に渇望しているものなのかもしれない。
自分を自由に表現する。
トークやライティングでも自己表現はできるけれど、ダンスというのはもっともっと感覚的で開放的で、私自身そのもの。
だからこそ、恐れがともなうんだろう。
バリでダンスをする場面が訪れたとき、私は「自由になろう」と決めた。
そして、私は私自身を解放することに許可を出した。
やり方なんてわからない。
けれど、「格好つけずに思うがままに動く」そう腹をくくってからは、自然と身体が動きだしました。
蝶をイメージして優雅に舞ってみたり、妖精になった気分でくるっと回転してみたり。
上手くやるより、あるまがままを受け入れた私は、とてもとても自由にただそこに在った。
本来、「自由」という言葉は、「liberty」という英語を福沢諭吉が日本語訳にあてたもの。
Liberty：個人の権利や選択肢を制限されずに行動できる状態。
本来の自由とは、自らに由る。すべての原因を自分の中に見出す。
自由人に憧れながらも、「どこかただ奔放である」という潜在意識のイメージが、自ら私に不自由を選択させていた気がします。
自由であること。
それは私が生きる上での覚悟とも言える。
自由をすでに手にしていたことに気づいた私が、これからどう生きていくのか。
小難しいことはわからない。
けれど、「ダンスを習ってみたら楽しそう」そんなことを不意に思えるようになった今が、私はとてつもなくうれしいです。
（文責：菅千絵子）