メールマガジン
SPT通信 vol.04
化合物エッチング装置 Sirius・Spica の特長と適用例
【02】装置特集：化合物エッチング装置「Sirius」＆「Spica」をご紹介
【03】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレードのご案内
社員に訊いてみました ～尼崎へいらっしゃい！～
編集後記 ～リーダーと集団の幸福な関係～
【01】
装置特集：化合物エッチング装置「Sirius」＆「Spica」をご紹介
今回は、「Sirius」＆「Spica」をご紹介させていただきます。
化合物材料や誘電体材料のプラズマエッチングに用いていただく装置です。
目的や用途に応じて「Sirius」または「Spica」をご提案させていただきます。
「Spica」は特に、化合物半導体の低ダメージかつ高精度のエッチングを得意としています。
Sirius
本製品の特長
- 特徴的なプラズマ源によりウェハ上に高イオン密度のプラズマを生成し、
難エッチング材料の高 エッ チングレートを実現 - ウェハ上でのイオン密度分布を調整した良均一性エッチング
- 異方性エッチング、高アスペクト比エッチングが可能
- 様々なウェハサイズに対応（標準：Φ3インチ～Φ8インチ）
他のウェハサイズ、ワーク形状につきましては、お問い合わせ下さい。 - レジストマスクだけでなく、SiO2マスクやメタルマスクの使用実績も多数あり
適用アプリケーション
- シリコンフォトニクス／光導波路：SiO2膜やSiN膜
- フィルタデバイス材料：LT/LN（LiTaO3/LiNbO3）や水晶振動子 等
- 高周波電子デバイス材料：SiCのバックビアエッチング
- パワーデバイス材料：SiCトレンチ
- MEMS分野：マイクロレンズやマイクロ流路
- その他：有機系材料、Poly-Si 等
Spica
＜本製品の特長＞
- Siriusとは対照的にウェハへのダメージを低減させたエッチング装置
- 低RFパワーでも精度良く出力できるRF電源を搭載し、高精度加工を実現
- F系だけでなく、Cl系でのエッチングが可能
- 様々なウェハサイズに対応（標準：Φ3インチ～Φ8インチ）
他のウェハサイズ、ワーク形状につきましては、お問い合わせ下さい。
＜適用アプリケーション＞
- 高周波電子デバイス材料：SiN、GaN、GaAs、InP
- パワーデバイス材料：GaN、GaO などを高速で安定してエッチング可能
- MEMS分野：マイクロレンズやマイクロ流路
- その他：有機系材料、磁性膜 等
上記材料以外の微細加工やプロセス要望等がございましたら、
まずはご相談くださいますようお願いいたします。
【02】
定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
社員に訊いてみました ～尼崎へいらっしゃい～
SPPテクノロジーズが事業所・デモルームを構えます尼崎市は2016年に市政100周年を迎えました。
戦国時代には、尼崎城や富松城などが築かれ、軍事上、重要な位置を占め、1617年、譜代大名の戸田氏鉄（うじかね）が四層の天守を持つ新たな尼崎城を築城すると、
城下町としてにぎわいました。
【現代に蘇った尼崎城】（最寄り駅は阪神電車 尼崎駅）
一度は行っていただきたい、尼崎が誇る観光名所です。
【尼崎のご当地グルメ】
「尼崎あんかけチャンポン」はその名の通り、あんがかかった“ちゃんぽん”。
蒲鉾や野菜類など、ちゃんぽんお馴染みの具材があんかけに包まれています。
【ホッと一息喫茶店】（JR尼崎駅近くにあります）
「BASIE COFFEE & JAZZ」
とても居心地が良く、SPTを訪問いただく前に、一仕事を終えられた後に。
閉店17時にお気を付け下さい。
【甘味】
水飴: ヒノデ阿免本舗（最寄り駅は阪神電車 尼崎駅）
懐かしい、本物の美味しさ。ぜひ、店舗を訪問していただきたいです。
夏場は水飴を氷水に溶かして涼を、冬場は白湯に溶かして暖を（店舗で教えていただいた）。
かりんとう饅頭: 彩花苑
尼崎市内に3店舗を構えられ、自家製あんにこだわっていらっしゃいます。
皮のカリカリ感が素晴らしく、味はもちろん、満足感も得られます。
SPTの最寄り店舗は 【尾浜本店】、徒歩15分程度、店前よりタクシーでJR尼崎駅まで10分程度です。
〒661-0022 兵庫県尼崎市尾浜町3-24-18
【お酒】
いも焼酎「尼の雫」。姉妹品にむぎ焼酎「尼の絆」
尼崎市の伝統野菜である尼藷（あまいも。さつまいも）を使用して醸造した、いも焼酎です。
まろやかで芋の旨味がしっかりあり、ボトル外見は爽やかです。
中田商店様のWebsiteにて紹介詳しいです。
【尼崎の特産品を扱ったアンテナショップ／メイドイン尼崎】
最寄り駅は阪神電車 尼崎駅
品揃え、なかなか豊富です。
〒660-0884 兵庫県尼崎市神田中通1-4 中央公園内
番外編: 日本酒「福寿」
ノーベル賞の晩餐会公式行事で振舞われた日本酒。
こちらは、12月に開催される展示会「SEMICON JAPAN」のハッピーアワーで、毎年SPTブースで振舞わせていただき大好評でした！（ここ数年は未開催）
純米吟醸酒ならではの気品のある吟醸香とふくよかな味わいをぜひご堪能ください。
ぜひみなさま、SPT装置でのデモ加工をご一考、尼崎デモルームへお越し下さい！
編集後記 ～リーダーと集団の幸福な関係～
先日、京セラの元会長 稲盛和夫氏がご逝去されました。
経営の神さまとも言われ、多くの著作を残し、また、慈善家としての一面も持ち合わせて地域経済に多大な貢献をされてきた稲盛氏のことは、関西在中の方ならきっと、残念に思う方も多いと思います。
東京在住の私でも、稲盛氏のことは著作を通じ多くの知見を与えてくれた存在として、私の記憶の中に永く残っていくことと思います。
私の中でとても印象深い稲盛氏の言葉がこちらです。
【集団、それはリーダーの人間性を映す鏡なのです】
これはリーダーに対して、言われた訓示のように取り上げられることが多いですが、私たち集団の側にも、ひとつの解を明示してくれています。
集団側は、リーダーを支えて、正しい方向に一緒に向かう意志が大切です。
そうしてはじめて、集団として一体感が生まれ、集団はリーダーの鏡と言えるようになるのだと思います。
稲盛和夫氏のご冥福を心よりお祈り申し上げます。
（文責：菅千絵子）