今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなっていきます。

そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。

フォロワー数に伸び悩んでいましたが、じわじわと増えて、104名！

年内100名をぶじ達成することができました。
どうもありがとうございます。

次の目標は……やはりこのメルマガ読者さま全員とつながること。
まだご登録されていない方は、是非ともご登録をお願いいたします。

また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎！

ぜひぜひ、SPTのアカウントをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。

SPTのLinkedInを見る

超低熱ダメージPECVD装置「Capella」

特長

熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料（レジスト膜、樹脂基板等）の上への良質成膜を可能としました。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus 300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。

想定するアプリケーションの例

• 量子コンピュータ素子部（ジョセフソン接合部）
• 光学デバイス（LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板等利用）
• 大口径ウェハ パワーデバイス（プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制）

超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー

特長

従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。

想定するアプリケーションの例

• 高周波HEMTデバイス
• 受光デバイス
• 発光デバイス、例えば、マイクロLEDの高輝度化

本件に関連して、台湾国立陽明交通大学と共同開発を行っております。

• “ 必要な時に繋がる安心 ”
• “ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
• “ 熟練技術者による高度な支援 ”
• “ 原因特定・移動時間の削減 ”
• “ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”

これらを提供いたします。

具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客さま現場と弊社サポート員をつなぎ、リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。

多くの方に実感していただくためにも、トライアルも積極的に取り組んでまいります。
ご興味がございましたら、ぜひ下記までお問い合わせくださいませ。

定期メンテナンス契約

SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。

スペアパーツ販売

装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？

装置アップグレード

最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？

トレーニング

オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。

• 前へ
• 一覧ページへ戻る
• 次へ