SPPテクノロジーズ

メールマガジン

SPT通信 vol.52

PECVDを中心としたSPTの成膜技術と装置ラインアップ

お客様各位
いつもお世話になります。
SPPテクノロジーズ株式会社 マーケティング部の菅 千絵子です。
私は東京本社勤務ですが、今月は珍しく2週にわたり尼崎へ出張してきました。
個人的には、新幹線の移動時間が一番仕事(やりたいこと)が捗るゴールデンタイムなのですが、みなさんはいかがでしょうか?
今回の「社員に訊いてみましたコーナー」に登場するYは、まさにこの原稿を新幹線で執筆したそうで。
その内容がとても興味深く面白いものでしたので、ぜひそちらもご覧くださいませ。

【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします!~スタッフパーティーの様子もご覧ください♪~
【02】装置特集 ~SPT成膜技術のご紹介~
【03】定期メンテナンス契約/スペアパーツ販売/装置アップグレード/トレーニングのご案内
【04】常時ご相談受付中

■社員に訊いてみました ~義母と娘のブルース~

■編集後記 ~我慢とは煩悩のひとつ!?~

【01】

「LinkedIn」フォローよろしくお願いします!~SPTスタッフパーティーの様子もご覧ください♪~

今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなっていき

ます。

そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。

フォロワー数に伸び悩んでいましたが、じわじわと増えて、185名!
つながってくださいましたみなさま、ありがとうございます。

でもやはりこのメルマガ読者さま全員とつながりたい。
まだご登録されていない方は、是非ともご登録をお願いいたします。

また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎!

ぜひぜひ、SPTのアカウントをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。

また、先日開催した「SPTスタッフパーティー」の様子。
ぜひこちらからご覧くださいませ。(私もどこかにいます。笑)

SPTのLinkedInを見る

【02】

装置特集 ~SPT成膜技術のご紹介~

SPPテクノロジーズは、エッチング装置を得意としていますが、
実は、いろいろな成膜装置、成膜プロセスも提案をさせていただいております。

様々なウエハーの上にSPTが得意としているプラズマを使って膜を付けることができます。
この技術はPECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) と呼ばれます。

※ウエハー表記は経済産業省発行の資料に倣っています。

しばしばうかがうご要望としては、300℃くらいまでなら温度上げてもいいから

  • デバイスを保護してくれる膜(硬い)
  • 湿気から守ってくれる膜
  • 電気を遮断する膜
  • 赤外光を漏らさず閉じ込める膜

気にされるのは、

  • 基板から剥がれたりしないの?
  • 凹凸のある表面の上にも、隙間や空洞なくぴったり付けられるの?
  • 長い時間経っても安定しているの? =膜の各種特性値は変わらないの?
  • 成膜容器の中はどうやってクリーニングするの? ドライクリーニングはできるの?

最近のご要望ですと、

  • 100℃くらいの温度で膜を付けられないの?(プロセス前後の温度差でウエハーが割れてお困りとのこと。)
  • 10μmの厚さで膜を付けられないの? など

他にも、

  • 良質の膜を、一度にたくさん作りたいのだけど
  • 1日にたくさんのウエハーを処理したいのだけど

などがあります。

また、こちらのご要望には、縦型熱処理装置部門(本拠地:カリフォルニア州)がお応えできます。
※バッチ型成膜(縦方向にウエハーを平行積み上げ)200枚で一括同時にプロセス
ウエハーを加熱する温度は、PECVDの温度+500℃~、1000℃くらいまでをご想像ください。

【03】

定期メンテナンス契約/スペアパーツ販売/装置アップグレード/トレーニングのご案内

定期メンテナンス契約

SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック&メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。

スペアパーツ販売

装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか?

装置アップグレード

最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか?

トレーニング

オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。

社員に訊いてみました ~義母と娘のブルース~

みなさん、こんにちは。業務部のYです。

我が家は、夫婦共働きで子ども3人なのですが、隣に義実家があり夫の両親が住んでいます。
私の実家は北海道なので、育児は義両親にめちゃくちゃサポートしてもらい、現在の生活が成り立っています。

よく友人には「嫁姑問題とか面倒じゃないのか」とか聞かれますが、私が鈍感というか図太いのと義母(と義父も)が優しく大らかなので、実母なんかよりはずっと関係良好でうまくやっていると思います。

(意外と、実母の方が気を遣わない分ケンカしたりバチバチしがちなのは、共感してもらえる方もいるのではないでしょうか。)

私がずっと変わらないペースで仕事をしているため、長女を保育園に入れた10年前から現在まで、ほぼ週5でお迎え → 夕食(隣家の義実家で義両親+子ども3人+いれば私たち夫婦)を義母が担っているという、とても恵まれた環境で仕事と育児を両立(と言っていいのか・・・)している状態です。

逆に言うと、義両親がいるから、ずっと同じペースで仕事ができている、というわけです。

はい、恵まれすぎている環境で仕事ができていることは十分承知していますが、今回は勇気を出して笑、そんな中でも「勘弁して~」と私が思った義母にされて嫌だったこと(事件簿)を紹介します。

文句言えないくらいメリットがたくさんある現在の生活ですが、やはり多少のトラブルはあります。

気にしませんが、忘れますが、ここで紹介することによって、より消化できるようにご協力いただけると嬉しいです!

前置きが長くなりましたが、いきま~す。

【1】洗濯物を取り込まれる

朝、洗濯機を回して外(2階ベランダ)に干して仕事に出掛けることがよくあるのですが、私がとにかく天日干し大好きなので、多少天気が怪しくても、
雨が降らない方に賭けて干して出てしまいます。

そうすると、午後になって雨が降ってきた! というケースも起こり得るのですが、その時はちゃんと取り込んでくれます。。。

別にいいんですが、鍵を開けて家に入って2階に上がって洗濯物を取り込んで室内のラックに仮置き?として掛けてくれたんだな、と想像すると、ありがとうございます、という感謝の気持ちと、別にそこまでしてほしくないな、という気持ちが入り混じります・・・。

未だに「ありがとうございます、助かります」とも「取り込まなくていいです」とも伝えたことがないです、はい。

【2】保育園からの連絡事項をリマインドされる

ほぼ毎日のように保育園のお迎えをしてもらっているので、もちろん先生たちとも顔見知りですし、私が知らないような先生の近況や他の子どもたちの名前なども義母はよく知っています。
ほんとに、コミュ力おばけなので感心します。

私が保育園との関わりが薄いからなのか(毎日朝の送りだけはやってますよ!)、「保育時間の申請書は明日までだって」とか「木曜日は調理保育があるからエプロン持って行ってね」、「着替えが少ないから多めに持って行った方がいい」とかを、リマインド? サポートしてくれます。

義母はきっちりしているというか責任感が強いので、それを夜も、次の日の朝も繰り返し伝えてくれます。
「持った!?」と玄関先でも確認されます。

私ができていないことをフォローしてくれているのですが、「わかってます」という気持ちが半分くらいあり(生意気)、「はい!!」と強め&ぶっきらぼうに返事してしまいます。
いつもすみません、ありがとうございます!

【3】名前をマジックで書かれる

保育園の布団とシーツに、私こだわりのマークを刺繍し、名前のワッペンを貼っているのですが、ワッペンがはがれたところの上からマジックでぐいっと名前を書かれました。
聞いてからやってほしかったです。

【4】次女の髪の毛をショートにされる

次女が1歳前後くらいの時だった気がしますが、生まれてから一度も髪を切っていないくらいの時期で、前髪が伸びて目に掛かってきたから、切った方がいいね、と会話をしていました。

平日は忙しいから土日にやろう、と先延ばしにして、その土日も何度か過ぎしまった平日の夜、私が帰宅すると、次女の髪がベリーショートになり、泣きはらした顔で寝ていました。

「髪の毛伸びてたから切っちゃったよ。すごい泣かれたけど。」と義両親に報告され、「そうですか!すっきりしていいんじゃないですか笑」と半分本音で返答し、自宅に帰りました。

現場を見ていた長女(当時4歳)が、すごく嫌がって大泣きしてた、でもおじいちゃんとおばあちゃんで頑張って切ってた、と教えてくれて、情景が想像できました笑。

髪を切られたこと自体はそんなにショックではなかったのですが、とにかく泣きはらして私の帰宅後も一度も起きないくらい泣き疲れたんだろうな、という状況と顔と、
ザクザクのベリーショートの姿が切なくて、寝ている顔を見ながらポロポロ泣いてしまいました。

その姿を見ていた長女が次の日、おじいちゃんとおばあちゃんに「ママ泣いてた」と報告したらしく(!!)、2人に「ごめんね」と改めて謝られました。なんかかえってすみません。

この中では珍しくちょっとシリアスな話でした。

【5】大変ね! と言われる

義母なりの心遣いもあるし、自然に出てくる共感・労いの言葉なのでしょうが、よく「大変ね!」と言われます。

雨の日の朝に荷物が多い中急いで家を出る時や、子どもが同時や立て続けに病気になって病院との往復が続く時、などなど。

気を張って、当然私がやらないといけないこと! ぜんぜん平気!(私やれる子だもん!)
と思っている中、この声を掛けられると、なんかつらい。
大変じゃないし! と思っているんだと思います。

書いてて痛々しくなってきました笑。

モヤるのさえ贅沢なことも多いんだろうな、と書きながら思っております。
(わかってますよ!)

義母への手紙みたいになりましたが、義母に本当に助けられているな、いないと生活できないな、75歳過ぎても元気でよくやってくれてるなと感謝しかないです。
それと同時に自分も頑張ってるな、とも思いました。すみません。

あ~~あるある~とか、へ~とか、そんなこと気にすんなよ、ってことまであったかと思いますが、こんな感じで能天気に育児している人もいるので、これからの方は「私にもできるかも」と思ってもらえたら嬉しいですし、夫たちには「妻たちもちまちま悩んでるんだな、優しくしてあげよ」って思ってほしいですし、共感しにくい方も「みんな色んなことを抱えながら仕事してるよね」って感じていただけたらと思います。(大きなお世話ですが)

編集後記 ~我慢とは煩悩のひとつ!?~

Yの「義母と娘のブルース」なかなか面白かったです。
(面白がってごめん)

同じ状況の方は少ないとは思いますが、Yが書いているように

「みんな色んなことを抱えながら仕事してるよね」

そう思うきっかけになればいいな、そう感じます。

ここでひとつ思い出したことがあります。

「我慢」という言葉ですが、仏教では「七慢(しちまん)」という煩悩のひとつとされています。
(七慢=慢、過慢、慢過慢、我慢、増上慢、卑慢、邪慢)

【慢(まん)】
 → 他人と同等であるのに、自分の方が優れていると思い上がる心。

【我慢(がまん)】
 → 自我(=我)に執着し、「私が」「自分が」と自意識過剰になる状態。
仏教でいう“我”とは実体のないものを実在だと誤解すること。

現代では、我慢強いなど「つらくても耐え忍ぶことができる」良いこととして使われたりしますが、我慢には限界があり、最終的には自滅か他責に向かわざるを得ないのではないでしょうか。

「自分さえ我慢すればいいんだ」

そういう気持ちは傲慢です。

【ネガティブでもポジティブでもなく、リアルに】

Yには、リアルに受け止めたうえで、「他者への感謝」と「自身のがんばり」どちらも認めてあげることの大切さを教えてもらった気がします。

≪文責:菅千絵子≫