メールマガジン
SPT通信 Vol.54
HFガスエッチング装置「Vetelgeuse」が支えるMEMS薄膜構造形成
【01】装置特集 ~ガスエッチング装置「Vetelgeuse」~
【02】世界で最も著名な雑誌のひとつ『TIME』が注目する日本の半導体技術
【03】アフター営業グループからのご案内
■社員に訊いてみました ~わたしが外国語を学ぶ理由~
■編集後記 ~言語を学ぶことで得られるもの~
【01】
装置特集 ~ガスエッチング装置「Vetelgeuse」~
今回は「Vetelgeuse」をご紹介させていただきます。
これは、ガス（フッ酸蒸気 HF Vapor）を用いた等方ケミカルエッチング装置です。
シリコン酸化膜をエッチングします。
SPTがなぜ？ プラズマを使っていないのに？
MEMS分野で使用されるエッチング装置を提供することで社会に貢献させていただく、この理念はぶれずに一貫しております。
この装置・プロセス、MEMSの開発・生産において、薄い膜の宙吊り構造を形成するために必要な技術です。
シリコン酸化膜をエッチングする方法は３つあります。
- プラズマエッチング
- ガスエッチング
- ウェットエッチング
異方性エッチングが必要な場合はプラズマで、速くエッチングしたい場合にはウェットで。
どの方法にも一長一短はあるのですが、ガスエッチングでは直接に肉眼視できない部分もエッチングしてくれます。
プラズマ装置 枚葉１枚処理とは異なり、ウエハーを間隔を空けて縦積み5枚まで、バッチ処理可能です。
縦型熱処理装置ではバッチ200枚。
エッチングの原理自体は単純なのですが（フッ酸とシリコン酸化膜の化学反応にてシリコン酸化膜を溶解）、再現性よくエッチングできることにこの装置の特長があります。
また、しばしばご質問いただくのは、
- シリコン窒化膜も溶けてしまうの？
- アルミ配線は溶けてしまわないの？
- エッチング終点検知はできないの？
- フッ酸を使うけど、安全に量産運用できるの？ 等です。
プラズマ装置だけでなく、ガスエッチング装置でも、ぜひSPTにお声かけください。
【02】
世界で最も著名な雑誌のひとつ『TIME』が注目する日本の半導体技術
米国で最も著名な雑誌のひとつ、『TIME』が毎年発表している ‘TIME100 Most Influential Companies’ をご存知でしょうか？
世界で最も影響力のある企業100社を選出したリストで、各分野で特に影響力、革新性、野心、成功を収めている企業を選び、その理由を解説されています。
TIME Asia Edition 2025年7月号では、Time 100 Companies に加えて、’The Kigyo You should Know (知っておくべき日本の企業)’ 特集が組まれ、
その中で、去る3月にSPTの社長である速水が受けたインタビューの一部が掲載されました。
‘Precision Etching’ として速水のコメントとともに掲載されたSPT。
こちらの記事を読むにはTIME誌を購入していただくのが一番ですが、
SPTのLinkedInをフォローしてくださっている方には特別に、SPT掲載ページをウェブ上でご覧いただけます！
【03】
アフター営業グループからのご案内
お客さまの「困った」を“起きる前”からサポートします。
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ~わたしが外国語を学ぶ理由~
みなさま、こんにちは。営業部のＩです。
ご存じの通り、弊社は現在、製品の販売をグローバルに展開しています。
それに伴い今後の業務に役立てたいと思い、以前学んでいた中国語を細々ながら再開しました。
※ここでいう中国語とは、中国本土では「普通話」、台湾では「国語」と呼ばれる標準語を指します。
私が中国語を学ぼうと思った理由は大きく二つあります。
一つ目は、日本語と同じ漢字を使うので親しみやすかったこと。
二つ目は、中国語を話す人が世界中に多く、学んでおいて損はないと思ったからです。
実際に学んでみて、二つ目の理由で学んでよかったと感じる場面が多くありました。
その中の一つが、以前英語圏に滞在していたときのことです。
たまたま台湾出身の友人ができたのをきっかけに、周りはほとんど中国語を話す友人になりました。
彼らの出身地はマレーシア、シンガポール、カンボジア、中にはタヒチ島出身の方もおられ、
毎日のように中国語で会話していました。中国語圏に住んでいないにも関わらず……。
彼らは「好客精神」（日本語の意味ではおもてなし）旺盛で、拙い中国語しか話せない私にも
手作りの餃子でもてなしてくれました。
皿にてんこ盛りの熱々の餃子を囲みながら、「中国語を勉強していて本当に良かった」と
心から思ったことを覚えています。
それだけでなく、生活の多くの面でサポートしてくれました。
この経験を通じて、中国語は単に話者が多いだけでなく、世界のさまざまな地域で通じる言語で、
多くの人とコミュニケーションが取れることを実感しました。
現在、海外だけでなく日本国内でもインバウンドの増加で中国語を耳にする機会が増え、
それを実感されている方は多いと思います。
先ほど、中国本土では国内で通じる標準語を「普通話」と紹介しましたが、
今やそれは中国国内だけでなく、世界中で「普く（あまねく）通ずる語」になりつつあります。
語学の習得は簡単ではなく、私も何度も挫折を経験しましたが、言葉が通じたときの喜びは
その苦労を余りあるものとしてくれます。
これからも、楽しみながら学び続けていきたいと思っています。
編集後記 ~言語を学ぶことの本当の価値~
Iの話が、今の私にはとてもタイムリーに響きました。
というのも、先日ベトナムに初上陸。
友人がベトナム人の女性と結婚したので、結婚式に参列するためです。
日本人はほぼいないと聞いていたので、ドキドキしながら行きの飛行機で最低限のベトナム語を少しだけ覚えました。
「こんにちは」 → Xin chao.（シン チャオ）
「ありがとう」 → Cam on（カム オン）
「おめでとう」 → Chuc mung!（チュック ムン）
「私の名前は菅千絵子です」 → Ten toi la Suga Chieko.（テン トイ ラ スガ チエコ）
「会えてうれしいです」 → Rat vui duoc gap ban.（ザッ ヴイ ドゥオック ガップ バン）
ですが……振り返ってみると、ほぼ使いませんでした。
ベトナム人、台湾人、日本人がいるなかで、圧倒的に日本人は少人数だったのにも関わらず、です。
もちろん、ずっと無口でいたわけではありません。
奥さまをはじめ、つたなくても日本語で話しかけてくださる方がとても多かったのです。
異国の地だからこそ、日本語で話してくれることにどれほどの価値があるだろうか。
少なくとも、ドキドキと不安でいっぱいだったわたしの心は、奥さまと出会った一瞬で解放されました。
その後も、奥さまがとても気にかけてくださり、何度も救われました。
AIを使えば、翻訳はすぐにできる世の中です。
街中では、AIにとても助けられたのも事実です。
けれど、AIでは感じることができない「人のぬくもり」。
言語を学ぶことで得られる本当の価値。
そして、友人は本当に素敵なご家族ができたんだな、と実感することができた貴重なベトナムの旅となりました。
≪文責：菅千絵子≫