メールマガジン
SPT通信vol.59
初出荷から30周年のSi DRIE装置「Predeus」の3Kとは？
【01】装置特集 ～Si DRIE装置「Predeus」～
【02】アフター営業グループからのご案内
■ 社員に訊いてみました ～回す手、動く心～
■ 編集後記 ～書く手、めぐる思考～
【01】装置特集 ～Si DRIE装置「Predeus」～
今回は、Si DRIE装置「Predeus」（プレデウス）をご紹介させていただきます。
このPredeusは、2012年7月に販売を開始し、高均一プラズマ源や高速スイッチングの機能などを搭載し、さらなる高精度加工や高均一性加工による収量向上、低スキャロップ・高速加工などに対応しています。
Si DRIE装置は、1994年にドイツのRobert Bosch GmbH社が特許化したボッシュプロセス（Bosch Process）を基に弊社独自の特許技術を加え※、開発・製品化に成功し、1995年に欧・米・日へ初出荷しました。
そして、今年6月に、Si DRIE装置の初出荷から30周年を迎えられたのは、ひとえにご愛用くださる皆さまのご支援の賜物と、心より感謝しております。
今後もSPTでは、お客様のご要望に対応すべく、装置開発を継続し、50周年、100周年を迎えられるように取り組んでまいります。
引き続き、ご指導・ご鞭撻宜しくお願い申し上げます。
最後に、Si DRIE技術を活用し、新しい技術開発がなされました！
例えば、三次元マイクロ流路で半導体チップの省エネ水冷を実現―AI半導体の高性能化を支える高効率放熱技術―
東京大学 2025/04/14
ご要望やお困り事などがございましたら、ぜひお聞かせ下さい。
様々な加工の様子は、製品ページでご覧いただけます。
Si DRIEについて詳しく見る※ボッシュプロセスは、エッチング（化学反応的、等方的）とパッシベーション（側壁保護）膜形成を交互に繰り返すことで、Si基板を高速で深掘りする手法です。
これからも変わらず、お客さまに寄り添った新しい提案をさせていただきます。
各種プロセスへのご相談をお待ちしております。
【02】アフター営業グループからのご案内
お客さまの「困った」を“起きる前”からサポートします。
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ～回す手、動く心～
こんにちは。営業部のKです。
さっそくですが、最近我が家ではコマのおもちゃが大流行です。
小学生の息子が2人おりまして、このコマのおもちゃ、息子たちが祖母からもらい手に入れました。
伝統的なコマですと手や紐で回すのですが、このおもちゃは本体と別の器具に取り付け、組み込まれたベルトや紐を引くことで回転させるしくみです。
これがとてもよくできた造りで、子供でも簡単に勢いよく回すことができます。
男兄弟2人ですから当然コマでの対決に夢中になり、勝った負けたの大騒ぎで、ケンカのようになってしまい最後は仲裁に入ります。
たいていは弟のほうが負けて泣きべそをかいているのですが、あるとき「パパがお兄ちゃんをやっつけて！」と求められ加勢しました。
大人の力で強く速く回せば子供に負けるはずはない、などと思い込んでいましたが、これがそう簡単にはいきません。
子供より強く速く回しているのですが、相手のコマにはじき出されたり、当たった衝撃でバラバラに分解されてしまったりで、なかなか勝てません。
このコマは3つの部品、下から回転の軸となる先端、コマの高さを決める中間の円盤、全体の大きさや重さに影響する金属の円盤で構成されていて、それぞれたくさんの種類があります。
長男が言うに、これらの組み合わせで、回転の持続力、相手をはじき出す力、衝撃での分解のされやすさが変わるとのことで、おもちゃではあるのですがなかなかに奥が深い。
結局、何度かに一度は勝てるのですが、何回やっても私の負け越し。
さすがに悔しくなり、翌日仕事帰りにおもちゃ売り場で自分用のコマを購入しました。
帰宅後息子たちに私が加わり、3人で大騒ぎ。妻からはあまりのうるささに夜のコマ遊びを禁止されてしまいました。
今では、平日は夕方まで、休日は昼間限定で子供たちとコマ遊びに夢中になっています。一見シンプルな遊びですが、知るほどに奥が深い。
何事にも興味を持って、良く知り、楽しんで取り組んでいこうと、改めて思うコマ遊びの休日でした。
編集後記 ～書く手、めぐる思考～
みなさんは、紙に何かを書き出す習慣がありますか？
Kがハマっているコマ遊びのように、シンプルなものほど奥が深く、手を動かすことで気づきが生まれます。
紙にもそんな魅力があるんです。
先日、「紙の歴史」について耳にした時、あらためて「書く」という行為の意味を考えさせられました。
紙が生まれたのは、西暦105年ごろの中国。
そして、紙の誕生とともに発展したのが「数学」だったそうです。
安くて手に入りやすい紙は、計算や記録のための最適なツール。
広大な国を治めるためには、税や人口、生産量を「数」で管理する必要がありました。
国が大きくなるほど情報は増える。
その情報を「書いて残す」ことが、国を動かす力になっていったのです。
どんな発明も、それが生まれる必然――つまり「状況」があります。
もしも、小さな村の中だけで暮らしていたら、話して伝えるだけで十分で、紙はそれほど必要とされなかったでしょう。
やがて人々は、紙の上で「考え」を整理するようになりました。その瞬間から、人は「自分の中で対話すること」を覚えたのかもしれません。
静かな机の上で、言葉と向き合う時間。
それは、紙がくれた新しい自由です。
今ではデジタルが主流となり、セミナーでもノートパソコンでメモを取る人が多くなりました。
手書きよりも早く、正確に記録できます。
それでも私は、お気に入りのペンで真っ白な紙に、その瞬間の思いつきを書き留めるのが好きです。
削除も更新もできないぶん、その一文字一文字に、迷いや逡巡の跡が残る。
あとから見返すと、乱雑な文字の中にその時の感情や空気がよみがえり、どこか愛おしく感じるのです。
文明が進むほど、私たちは「速く」「効率的」に考えることを求められます。
けれど、深く考えるためには、あえて遅くなる勇気が必要なのかもしれません。
一枚の紙の上で、自分の言葉と静かに向き合う時間。
そこにこそ、新しい発想が芽吹く余白がある。
私はそう信じています。
（文責：菅千絵子）