我们在等离子体系统领域的发展历程
- 1984Electrotech 在英国布里斯托尔成立 Special Research Systems (SRS)。
- 1989SRS 更名为 Surface Technology Systems (STS)，并迁至英国威尔士南部。开始开发一体化半导体制造平台“IX200”。
- 1992发布 IX200。STS 与日本住友精密工业 (SPP) 签订独家销售合同。
- 1993STS 与德国 Robert Bosch 开始共同开发 Bosch Si DRIE 工艺。SPP 被选为日本市场的 STS 产品正式代理商。
- 1994Robert Bosch 的切换工艺专利成立。
(USA: 5501893, DEC: 4241045, JPB: 4090492)
- 1995Electrotech 将 STS 转让给 SPP。世界首台支持 Bosch 工艺的 Si DRIE 设备出货至日本、美国和欧洲。
- 2001SPP 开始在日本国内生产自主设计的 Si DRIE 设备“MUC-21”。
- 2003SPP 开始在日本销售美国 Primaxx 和 XACTIX 制造的牺牲层二氧化硅刻蚀设备。
- 2007SPP 收购 Primaxx（牺牲层二氧化硅刻蚀设备制造商）。STS 再次成为 SPP 的全资子公司。
- 2009SPP 收购 AVIZA Technology (AVIZA) 产品线，并在英国成立 SPP Process Technology Systems (SPTS)。融合 AVIZA 与 STS 技术，发布 Pegasus300 Si DRIE 系统。
- 2011SPTS 收购 Tegal 的 Si DRIE 业务。完成管理层收购 (MBO)，更名为 SPTS Technologies。在日本，SPP 与 SPTS 成立合资公司 SPP Technologies (SPT)。
- 2015SPTS 的美国热处理设备业务由 SPT 接手，成立 SPT Microtechnologies USA。SPT 的技术组合大幅扩展。
- 2024SPT 解除与 SPTS 的资本关系，成为 SPP 的 100% 子公司。
我们在立式炉领域的发展历程
- 1962THERMCO Systems 在美国成立。
- 1988Silicon Valley Group (SVG) 收购 THERMCO Systems。
- 2001ASML 收购 SVG 及 THERMCO Systems。
- 2003AVIZA Technology (AVIZA) 收购热处理设备事业部。
- 2009住友精密工业 (SPP) 收购 AVIZA 热处理设备事业部。
- 2011热处理设备业务的管理层收购由 Bridgepoint 实现。
- 2014Orbotech 收购 SPTS（包括热处理设备部门）。
- 2015SPP 收购热处理设备业务，成立 SPT Microtechnologies USA。
