APCVD
我们的传统晶圆传送系统采用自清洁式皮带输送机，具备出色的系统可靠性与极低的介电填充成本。
常压化学气相沉积
APCVD
Watkins Johnson（WJ）常压CVD系统，配备自清洁加热传送带处理平台
功能特性
为何全球客户持续信赖SPT的APCVD系统
延续Watkins Johnson数十年的创新积淀，我们的APCVD设备在介电填充方面实现了卓越的可靠性、沉积均匀性与长期支持。
可靠的自清洁输送皮带系统
传统传送技术确保系统稳定运行并降低停机时间。
非常适用于高产能介电填充应用，拥有极低的总拥有成本。
专利线性喷射头，提升膜层均匀性
WJ独特的线性喷射头实现精确且可重复的APCVD沉积。
无瞬态特性，实现优异的晶圆内均匀性。
持续服务与升级选项
SPT 提供持续的服务、备件和性能升级。使用现代化的组件延长 WJ-APCVD 系统的使用寿命。
备件与升级
延长您的经典设备使用寿命
我们为以下平台提供原厂认证的备件与升级服务：
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WJ-999
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WJ-1000
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WJ-1500
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处理腔体
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3
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4
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4
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工艺模块
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TEOS, Hydride
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TEOS, Hydride
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TEOS
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