本製品の特長

• SPTでは現在3種類のプラズマ装置（Si DRIE、TEOS-PECVD、Metalエッチャー）を提供しております。
• Si DRIE：ボッシュプロセスによる高アスペクトシリコン深掘り加工を実現します。
• TEOS-PECVD：TEOS材料を用い300℃以下の低温にてSiO2膜成膜が可能です。
• Metalエッチャー：塩素系ガスによるAl配線エッチングが可能です。
• 塩素系ガスに対する安全仕様も実装しています。

新開発技術

国内量産実績のあるSPTプラズマエッチング装置、CVD装置のプロセスチャンバをリファレンスとし、同等のプラズマ密度とバイアスエネルギーを得るプラズマソース、RFシステムを開発。
ミニマル統一規格の筐体に内蔵可能な、各コンポーネントのミニチュア化も実現しました。

適用アプリケーション

多品種にわたる迅速な製品開発と市場リリースが要求されるIoT/AI向けデバイスや各種MEMSセンサデバイスにとって、ミニマルファブは最も適したソリューションであり、当社製ミニマル装置は製品開発、量産への早期展開に大きく貢献します。

• “ 必要な時に繋がる安心 ”
• “ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
• “ 熟練技術者による高度な支援 ”
• “ 原因特定・移動時間の削減 ”
• “ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”

を提供させていただきます。

具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客様現場と弊社サポート員をつなぎ、リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。

ご興味ございましたら、お問い合わせをお待ちしております。

定期メンテナンス契約

SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。

スペアパーツ販売

装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？

装置アップグレード

最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？

トレーニング

オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。

メルマガ配信はいつも一方的ですから、ぜひ生の声をお聞かせいただきたい……
ということで、ご協力をお願いしているアンケート。

ご回答いただいた中から、一部ご紹介します。

なんともありがたいお声をいただきました。
これを受けて、SPT技術部長 山本からのコメントです。

有難いお言葉励みになります。
今でも製品開発していると良いも悪いもプラズマ処理の面白い結果に遭遇します。
上手く利用すれば、いろいろなプロセスにより便利に利用できると思っています。
今後もプラズマを駆使して、皆さまのお役に立てる製品をご提供出来る様に取り組んでいきたいと思います。

12月のセミコンでも新しい製品のご紹介をさせて頂くので、多くの方にご紹介出来ることを楽しみにしています。

SPPテクノロジーズ株式会社 技術部長 山本孝

アンケートは引き続き募集させていただきますので、ご協力のほど、よろしくお願いいたします。

もちろん、忌憚なきご意見も心よりお待ちしております。

ご協力いただいた方には、SPTノベルティを贈らせていただきます。

また、無記名の方にはお届けできませんが、それでもご回答いただいた方には、最大限の感謝の気持ちを贈らせていただきます。

製品、営業、サポート、どんなことでも構いません。

みなさまのご意見、心よりお待ちしております。

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