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SPT通信vol.60
「SEMICON Japan 2025 (東京ビッグサイト)」（12/17〜12/19）出展します
【01】「SEMICON Japan 2025 (東京ビッグサイト)」（12/17〜12/19）出展します
【02】装置特集 ～SPT成膜技術のご紹介～
【03】アフター営業グループからのご案内
■ 編集後記 ～ヒット予測の“ズレ”が教えてくれるもの～
【01】「SEMICON Japan2025＠東京ビッグサイト」（12/17〜12/19）出展します
SPTのブースでは、昨今、注目されている6つのアプリケーション ―― MEMSデバイス、SiCパワーデバイス、アドバンストパッケージング、RFデバイス、LEDデバイス、光電融合技術に焦点を当て、各プロセスでの技術課題を解決するSPTのソリューションをご紹介いたします。ご来場の皆さまに充実したひと時をお過ごしいただけるよう、SPT社員一同、 弊社ブースへのお越しを心よりお待ちいたしております。
- 展示会： SEMICON Japan 2025
- 開催概要： SEMI公式Website
- 会期： 2025年12月17日（水）〜12月19日（金）
- 会場： 東京ビッグサイト 〒135-0063 東京都江東区有明3丁目11−1
- 弊社出展ブース： 南ホール【S1003】
イベント： ハッピーアワー
- 日時：12月18日（木）16時〜
- 場所：SPTブース【南ホール：S1003】
- ご提供メニュー：神戸酒心館「純米吟醸 福寿」、神戸酒心館「大吟醸 福寿」 、クラフトビール「よなよなエール」
毎年
恒例イチオシ、ノーベル賞公式行事で振舞われる世界で愛されるブルーボトル 、熟した桜桃のような豊かな香り。フレッシュな果物と滑らかな米の旨味を味わえる 「純米吟醸 福寿」に加えて、
≪2018・2019年 International WINE Challenge 金賞受賞≫
白桃や梨をおもわせるみずみずしい香り。上品でスムースな口当たりで、香りの持続性が高い 「大吟醸 福寿」をご用意。
また、昨年ご好評いただきました、クラフトビール「よなよなエール」もご用意しています。
ビールと日本酒、そしてSPT社員との会話をぜひご堪能いただければ幸いです。
【02】装置特集 ～SPT成膜技術のご紹介～
SPPテクノロジーズは、エッチング装置を得意としていますが、
実は、いろいろな成膜装置、成膜プロセスも提案をさせていただいております。
様々な ウェーハの上にSPTが得意としているプラズマを使って膜を付けることができます。
この技術はPECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) と呼ばれます。
※ウエハー表記は経済産業省発行の資料に倣っています。
しばしばうかがうご要望としては、 300℃くらいまでなら温度上げてもいいから
- デバイスを保護してくれる膜（硬い）
- 湿気から守ってくれる膜
- 電気を遮断する膜
- 赤外光を漏らさず閉じ込める膜
気にされるのは、
- 基板から剥がれたりしないの？
- 凹凸のある表面の上にも、隙間や空洞なくぴったり付けられるの？ ・長い時間経っても安定しているの？ ＝膜の各種特性値は変わらないの？
- 成膜容器の中はどうやってクリーニングするの？ ドライクリーニングはできるの？
最近のご要望ですと、
- 100℃くらいの温度で膜を付けられないの？ （プロセス前後の温度差でウエハーが割れてお困りとのこと。）
- 10μmの厚さで膜を付けられないの？ など
他にも、
- 良質の膜を、一度にたくさん作りたいのだけど
- 1日にたくさんのウエハーを処理したいのだけど
などがあります。
また、こちらのご要望には、 縦型熱処理装置部門（本拠地：カリフォルニア州）がお応えできます。
※バッチ型成膜（縦方向にウエハーを平行積み上げ）200枚で一括同時にプロセス
ウエハーを加熱する温度は、PECVDの温度＋500℃～、1000℃くらいまでをご想像ください。
プロセス実例等は下記のリンクをご参照願います。
プラズマエッチング装置だけでなくプラズマ成膜装置でも、ぜひSPTにお声かけください。
【03】アフター営業グループからのご案内
お客さまの「困った」を“起きる前”からサポートします。
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
編集後記 ～ヒット予測の“ズレ”が教えてくれるもの～
毎年恒例、日経BPの『ヒット予想ランキング』が発表されましたが、みなさんはご覧になりましたか？
昨年の“予想”と“実際”を見比べてみると、そのギャップが本当に面白いです。
予想ベスト5には「肩掛けプライベートAI」や「ライトアニメ」など、未来感たっぷりのワードが並んでいたのに、実際ヒットしたのは、万博、映画、そしてまさかの“せいろ”。
「世の中って、やっぱり予想どおりには動かないよなぁ」と感じさせられました。
でもこれ、半導体の世界でも同じですよね。
ロードマップはあっても、技術の進み方はいつも想定以上にダイナミック。
“思ったよりも早く訪れる未来”と“思いもよらない未来”が、毎年のように押し寄せてきます。
だからこそ、「予測を当てる」よりも「どんな未来が来ても動ける状態を整えておくこと」その重要性をあらためて感じています。
来月はいよいよ『SEMICON Japan2025』。
不確実な時代だからこそ、今年生まれた気づきや、来年に向けて見えてきた兆しを、お客さまと直接お話できる機会になればと思っています。
ご来場される際には、ぜひお気軽にSPTブースへお立ち寄りくださいませ。
お会いできることを、心より楽しみにしております。
（文責：菅千絵子）