メールマガジン
SPT通信 Vol. 63
ガスエッチング装置「Vetelgeuse」の特長とは？
【01】装置特集 ～ガスエッチング装置「Vetelgeuse」～
【02】アフター営業グループからのご案内
社員に訊いてみました ～ラーメンと半導体、どちらも本気です！～
編集後記 〜「ほし」を掴むまで～
【01】
装置特集 ～ガスエッチング装置「Vetelgeuse」～
今回は「Vetelgeuse」をご紹介させていただきます。
これは、ガス（フッ酸蒸気 HF Vapor）を用いた等方ケミカルエッチング装置です。
シリコン酸化膜をエッチングします。
SPTがなぜ？ プラズマを使っていないのに？
MEMS分野で使用されるエッチング装置を提供することで社会に貢献させていただく、この理念はぶれずに一貫しております。
この装置・プロセス、MEMSの開発・生産において、薄い膜の宙吊り構造を形成するために必要な技術です。
シリコン酸化膜をエッチングする方法は３つあります。
- プラズマエッチング、
- ガスエッチング、
- ウェットエッチング
異方性エッチングが必要な場合はプラズマで、速くエッチングしたい場合にはウェットで。
どの方法にも一長一短はあるのですが、ガスエッチングでは直接に肉眼視できない部分もエッチングしてくれます。
プラズマ装置 枚葉１枚処理とは異なり、ウエハーを間隔を空けて縦積み5枚まで、バッチ処理可能です。
縦型熱処理装置ではバッチ200枚。
エッチングの原理自体は単純なのですが（フッ酸とシリコン酸化膜の化学反応にてシリコン酸化膜を溶解）、再現性よくエッチングできることにこの装置の特長があります。
また、しばしばご質問いただくのは、以下の点です。
- シリコン窒化膜も溶けてしまうの？
- アルミ配線は溶けてしまわないの？
- エッチング終点検知はできないの？
- フッ酸を使うけど、安全に量産運用できるの？
プラズマ装置だけでなく、ガスエッチング装置でも、ぜひSPTにお声かけください。
【02】アフター営業グループからのご案内
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ～ラーメンと半導体、どちらも本気です！～
この世で一番美味しい食べ物は何か。
究極の問いに、あくまで私個人として答えたい。
【人類みな麺類】と。
営業部 Sです。こんにちは。
醤油・豚骨・味噌・塩・白湯・担々麺・つけ麺・しょうが醤油など数々の種類がありますが、私は基本的には味のジャンル問わず、ラーメンが大好きです。
では、私は皆さまに何をご紹介したいかと申しますと、【ラーメン】です。
このメルマガを読んでいただいております皆様は、日本全国様々にお住まいのことと存じます。
全国各地に回らせていただく機会の多い私ですが、大好きなご当地ラーメンがあり、いつも大変お世話になっております。
そこで！ 逆に皆さまには関西のラーメンを知っていただきたい！
ライブデモ・出荷前のお立会い・お打合せ・ラーメン。
様々な理由でSPTへお越しいただきたい！と思っております。
ですので、今回はしぼりにしぼって更にしぼった、関西の3件をご紹介させていただきます。
1店目 【人類みな麺類】
先述させていただきました人類みな麺類というのは、ラーメン屋のお名前です。
新大阪駅から地下鉄で1駅の西中島南方駅というところに、そのお店があります。
人類みな麺類の他系列店も大変ユーモアな店名が付いておりますが、どのお店も一風変わった店名のわりに、なんとも奥深い味わいです。
ちなみに、人類みな麺類は醤油ラーメンとなっております。是非一度ご賞味あれ。
2店目 【なにわ麺次郎】
近鉄大阪難波駅の改札内にあるこのラーメン屋さん、おススメは黄金の貝だしラーメンです。
口いっぱいに広がる貝の風味、透き通ったスープ、今時の綺麗なお店。
太いメンマと香ばしいチャーシューも食べ堪えがあり、とにかく旨味爆弾です。
大阪難波駅から阪神尼崎へは電車一本で行けますので、弊社へご来社いただく際に寄っていただく、もしくは、改札入場券購入で入店も可能です。
3店目 【ぶたのほし】
随分前に御朱印回を担当した私ですが、今回ももりもりに忖度させていただきます。
尼崎 ラーメン と検索いただけましたら必ず出てくる【ぶたのほし】は、SPPテクノロジーズから歩いて20分ほどのところにある、豚骨ラーメンです。
（20分も歩けない？ 一度味を知ってしまえば20分なんてへっちゃら間違いなしです。）
とんこつを極めたい 至高の一杯のために ぶたのほしをつかむまで
というコンセプトでついた店名のようですが、このお店のこだわりである、真摯に豚に向き合い、豚の命を生かしきる。を体現したような一杯になっております。
我々SPPテクノロジーズも。
真摯にお客様に向き合います。半導体製造装置のほしをつかむまで。
是非ラーメンを食べに。ではありませんでした。
商談やデモなどで、ご来社ください。お待ちしております。
皆さまとご縁がありますように。
編集後記 〜「ほし」を掴むまで～
営業部のSが全力で「好き」を言葉にしてくれたので、今日のランチをラーメンに決めた方も少なくないのではないでしょうか。笑
ラーメンの話ではありますが、行間から伝わってくるのは、
「良いと思ったものは、ちゃんと伝えたい」
「自分が足を運んで、味わって、納得したものを勧めたい」
という、営業としてのSの姿勢そのものだと感じました。
仕事も、ラーメンも、結局は人がつくっています。
どんな思いで向き合っているのか、どこまでこだわっているのか。
それは一杯のラーメンにも、一台の装置にも、自然と滲み出るものです。
SPPテクノロジーズが大切にしているのも、まさにそうした「向き合い方」。
それらを体感していただけるよう、SPT一同、尼崎でお待ちしております。
そして、一緒に「ほし」を掴みにいけるご縁につながればうれしいです。
（文責：菅千絵子）