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SPT通信 Vol.64

MEF2026 (東京都両国)」4/21 (火) 〜4/22 (水) に出展します

【01】「MEF2026(@東京都両国)」4/21(火)〜4/22(水)に出展します!
【02】装置特集 ~SPT製品ラインナップ~
【03】アフター営業グループからのご案内

■ 社員に訊いてみました ~静寂と轟音を行き来する、唯一無二のスポーツとは?~
■ 編集後記 〜静寂と轟音のあいだで考える力「ネガティブ・ケイパビリティ」という知性~

【01】

「MEF2025(@東京都両国)」4/21(火)〜4/22(水)に出展します!

弊社ブースでは、現在普及しているIoT/IoEならびに5Gや、自動運転などで重要な技術として注目されている化合物半導体デバイス、MEMSセンサーの製造装置、また新製品の詳細も紹介させていただきます。

みなさまのご来場を心よりお待ちしております。

また、LinkedInでは、貴重なご講演情報や、スタンプラリーの豪華景品なども発信しておりますので、ぜひフォローをし、チェックされてみてくださいね!

■ 名称:MEMS Engineer Forum (MEF) 2026

■ 開催概要:MEMS Engineer Forum (MEF) 2026 Websiteより
■ 会期:2025年 4月21日(火) 〜 4月22日(水)

■ 会場:東京両国のKFCホール(東京都墨田区横網1-6-1 国際ファッションセンタービル)
■ アクセス:都営地下鉄大江戸線 両国駅(A1出口)徒歩0分 / J/R総武線 両国駅(東口・西口)徒歩約7分

参加登録はこちら

【02】

装置特集 ~SPT製品ラインナップ~

年度末ですので、SPT製品のおさらいをさせていただきます。

【エッチング装置】

シリコン基板に、深く細い穴を高速一括で均一に多数開けたい
→ 「Predeus」「Proxion」をオススメします。 ボッシュプロセス Si DRIE

多種多様な材料をSPTのテクノロジー(とサポート)で微細エッチングしたい
→ 「Sirius」をオススメします。


SiC基板等に、深く細い穴を高速一括で均一に多数開けたい
→ 「Sculptor」をオススメします。


GaN層等を低プラズマダメージでやさしく精密にエッチングしたい
→ 「Spica」をオススメします。 RIE 低プラテンバイアス


もっとエッチングダメージを与えたくない(イオンも、紫外線も、熱も)
→ 「NBE」をオススメします。


SiO2を等方ガスエッチングしたい。MEMS製造 犠牲層エッチングをしたい
→ 「Vetelgeus」をオススメします。 5枚バッチ処理、HF Vapor利用、プラズマ不使用

【成膜装置】

SiO2膜、SiN膜(高品質/厚膜/低応力/段差被覆性良好)をプラズマ成膜したい。400℃以下で
→ 「Cetus」をオススメします。


SiO2膜、SiN膜をプラズマ成膜したい。150℃以下で
→ 「Capella」をオススメします。

シリコンウェーハ上のレジスト膜上にも良質膜を付けられます。

今年度も大変お世話になりました。

どの装置もみなさまからのデモンストレーションご要望をお待ちしております!
おなじみの営業担当やWEBSITEより、ぜひお声かけください。

ご相談・デモのご依頼はこちら

【03】

アフター営業グループからのご案内

定期メンテナンス契約

「止めないための、ひと手間を。」

SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。

予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。

予備部品の購入・保有

「“まさか”の瞬間に備える安心。」

トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。

事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。

また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。

定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド(電話・メール)させていただきます。

純正部品で常にベストな状態に。

安心のライン運用を行いませんか?

リモートサポートサービス

「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」

視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。

スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。

装置アップグレード

「性能もコストも、一段上のステージへ。」

最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。

稼働状況の“見える化”も可能に。

未来に備えるアップグレード、始めませんか?

学び直しトレーニング

「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」

装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか?

経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。

初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。

社員に訊いてみました ~静寂と轟音を行き来する、唯一無二のスポーツとは?~

こんにちは。
製造部のYです。

皆様はどのような趣味をお持ちでしょうか?

週末の時間あるときにゆっくり楽しんだり、人によっては睡眠時間を削りながら楽しまれているのではないでしょうか?

私の趣味はテニスでして、週に2~3回ほどの頻度で楽しんでおり、たまに草テニスの大会にも出場したりして楽しんでおります。

ラケットでボールを打った感触はとても気持ちよく、試合に勝っても負けてもストレス解消になり、ヤミツキでとても楽しいです。

また、テニスをするだけではなく、プロのテニス選手の試合を観戦することも楽しんでおります。

今回は、テニス人口が増えるといいな。という想いも込めてテニス観戦について紹介させていただこうと思います。

スポーツ観戦が趣味の方もおられると思いますが、野球やサッカーに比べてテニスを観戦されたことのある方はかなり少ないのではないでしょうか?

1試合が平均2~3時間(長い試合だと5時間!)と長いのと、テニス観戦の独特のルール(トイレなど席を立って良いタイミングが決まっている。プレイ中に音や声を出してはいけない)などもあり、少しハードルが高いように感じる傾向がある様です。

ただ、実際に観戦してみると、プロの打つ球は200km/h!!ほど出ることもあり目で追えないぐらい速く、迫力抜群です!

また、目で追いきれなくても耳でも楽しむことができるのも楽しいポイントです。
ボールを打った時のパァンという乾いた音、激しいフットワークでキュッキュッと鳴る床、ポイントを取った時の選手の雄叫びも聞こえてきて臨場感抜群です。

一方で、プレイ中に音や声を出してはいけないことからとても静寂な時間もあり、会場の空調の音、選手がボールを床につく音、ミスをした時の選手のため息まで聞こえてきて手に汗を握るほどの緊張感も味わえます。

選手との距離感が近いのも特徴で、国内トップレベルの選手でも試合後に気軽にサインや2ショットを対応してくれます。

試合観戦にオススメの大会として、日本で年間3~4回開催される「チャレンジャー」というランクの大会があります。
プロテニスの大会はランキングでランク分けされており、主に世界ランキング50位~400位前後の選手が出場する大会になります。
これらの試合はレベルが高いのに、観戦料が無料~2,000円程度で一日4~5試合も楽しむことができるのでオススメです。

一方でテニスをされない方も聞いたことのある様な、世界最高峰のウィンブルドン選手権などの試合のチケットは1試合で、数万円から数百万円!?までするようです。
家族でウィンブルドンを観戦に行くと渡航費や滞在費、チケット代などで1千万円!?ほどの予算が必要というような話もある様です。

なんだかとんでもない金額の話になってきましたが、まずは少しでもテニスに興味が湧いた方はYouTubeや動画配信サービスなどで、テニスの試合がどのような雰囲気なのかだけでも覗いてみてくださいね。

面白いかも!と思った方は、尻込みせずに是非会場に足を運んでみてください!よりテニス観戦を楽しめるはずです!

編集後記 〜静寂と轟音のあいだで考える力「ネガティブ・ケイパビリティ」という知性~

「静寂と轟音を行き来する」という表現を読んで、思い出した言葉があります。

ネガティブ・ケイパビリティ。

最近参加した、こちらの出版記念イベントの影響かもしれません。

■『存在の声に耳を澄ます──生成の源に導かれる「ネガティブ・ケイパビリティ」』小林範之(著)

書籍の詳細はこちら

ネガティブ・ケイパビリティとは、イギリスの詩人 ジョン・キーツ が提唱した概念です。

1817年、弟たちに宛てた手紙の中でこう語られていました。
「理屈や証明に急がず、違和感や謎を抱えたまま考え続けられる知性」。

その例としてキーツが挙げたのが、劇作家ウィリアム・シェイクスピア。
キーツは、シェイクスピアには特別な「受け止める力」があると感じていました。

シェイクスピアは、作品の中で断定をしない。
善悪も、正義も、矛盾も、説明せず、そのまま登場人物に語らせる。
人間の複雑さを、そのまま舞台に置く。

物語の中なら、私たちはその複雑さを味わうことができます。
けれど、「自分自身」のことになったらどうでしょう。

自己矛盾を、そのまま持っておく。

組織の中では、立場や役割によって葛藤が生まれます。
どちらも正しい。けれど、両立は難しい。
そんな場面は少なくありません。

そのとき、すぐに白黒をつけず、どちらの気持ちも「あるがまま」に置いておく。
揺らぎを否定とせず、とどまる。

どうしても「矛盾」という言葉には、どこかネガティブな響きを感じてしまいます。

けれど、さまざまな役割を担いながら判断を重ねる私たちにとって、葛藤はむしろ自然なことなのかもしれません。

Yさんが教えてくれたテニスの世界も、まさにそうでした。

流れが何度も変わる試合。
静寂と轟音のあいだで、次の一打を待つ時間。

流れを読みながら、考え続ける。
揺れながら、とどまり続ける。

その力こそが、新しい挑戦や、新しいテクノロジーを生み出す土壌になるのではないでしょうか。

静かな時間を恐れずにいること。
答えの出ない時間を、未熟さではなく成熟として受け止めること。

私たちの仕事の中でも、そんな粘り強い知性を大切に育んでいけたらと思います。

(文責:菅千絵子)