メールマガジン
SPT通信 vol.43
超低ダメージPECVD技術「Capella」と酸化膜・窒化膜用PECVD装置「Cetus」
【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします
【02】新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
【03】装置特集：酸化膜／窒化膜用 PECVD装置 「Cetus」 のご紹介
【04】遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中！~
【05】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
■社員に訊いてみました ~PC小技いろいろ 2024秋 編~
■編集後記 ~防災ゲーム「クロスロード」とは？~
【01】
「LinkedIn」フォローよろしくお願いします！
今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなって行きます。
そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。
海外での認知を上げるべく、毎週木曜日に英語で、SPT最新情報、製品情報、技術情報等、発信しています。
フォロワー数に伸び悩んでいましたが、じわじわと増えて、60名突破。（前回よりプラス10名以上！）
まずは100名を目指していく所存ですので、まだご登録されていない方は、是非ともご登録をお願いいたします。
また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎！
ぜひぜひ、SPTをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。
また、12月開催の展示会『SEMICON Japan 2024』でも、海外からのお客さまを多数お迎えできたらと考えております。
SPTのLinkedInを見る【02】
新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
SPPテクノロジーズでは、超低ダメージプロセス装置を『SEMICON Japan 2023』弊社ブースにて発表させていただきました。
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」
デモンストレーションご要望をお待ちしております。
特長
熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料（レジスト膜、樹脂基板等）の上への良質成膜を可能としました。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus 300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。
想定するアプリケーションの例
- 量子コンピュータ素子部（ジョセフソン接合部）
- 光学デバイス（LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板等利用）
- 大口径ウェハ パワーデバイス（プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制）
超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー
特長
従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。
想定するアプリケーションの例
- 高周波HEMTデバイス
- 受光デバイス
- 発光デバイス、例えば、マイクロLEDの高輝度化
【03】
装置特集：酸化膜／窒化膜用 PECVD装置 「Cetus」 のご紹介
今回は「Cetus」をご紹介させていただきます。
「Cetus」は酸化膜／窒化膜用 PECVD装置です。
子会社であるSPT Microtechnologies USA, Inc.では、LPCVD装置（製品名「AVP」）も取り扱っています。
「Cetus」は、膜質、膜応力、屈折率などの物性制御性において特に特徴があり、MEMSデバイスや化合物半導体デバイス（RF、LED、パワー）の量産にてご使用いただけます。
フォトニクス用途では、厚いSiO2膜（20um）を段差被覆性良く形成することができます。
プロセスガスは用途や設備制約に応じて、TEOS／SiH4から選択いただけます。
【04】
遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中！~
SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢を反映した新しいサポートサービスの形態です。
- “ 必要な時に繋がる安心 ”
- “ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
- “ 熟練技術者による高度な支援 ”
- “ 原因特定・移動時間の削減 ”
- “ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”
これらを提供いたします。
具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客さま現場と弊社サポート員をつなぎ、リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。
多くの方に実感していただくためにも、トライアルも積極的に取り組んでまいります。
ご興味がございましたら、ぜひお問い合わせくださいませ。
【05】
定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
社員に訊いてみました ~PC小技いろいろ 2024秋 編~
みなさま、こんにちは。
Ｆと申します。便利なPC小技探しを生き甲斐にしています。
早いものでSPTは下期に入りました（今年も残り3ヵ月を切りました）。
最近ある方からうかがったやるべき大切な2つのことは・・・
- 前進する（新しいモノ／コトを産み出す 等）
- 後退しない（戻り工数を減らしコスト削減 等）
私の場合、PCは嫌いではないのですが、好きでもない。
なるべく多くの時間を趣味に費やしたい・・・
私が上記に応えるためにできることは・・・・・・
ということで、早速以下、お役に立ちますと幸いです。
≪1≫ ショートカット
- 【Ctrl】+【F】で、検索ウィンドウが現れます。
- 【F5】でパワーポイントプレゼンテーションを始められます。【ESC】で中止できます。★プレゼンテーション中に【-】を押すと、スライド一覧表示できます。
- 離席時にPC画面をロック。ちょっとした離席時でも他者に画面を見られないようにロックします。【Windows】＋【L】
≪2≫ 常時半角スペース入力設定の場合でも、簡単に全角スペース入力
- 【Shift】+【スペース】
≪3≫ ZoomでPowerPointの発表者ツールを利用する方法
≪5≫ 「PDF形式」→「Word形式」にデータ変換する方法
- Word起動→[開く]→[参照]→Word化したいPDFを選択→[開く]で、Word形式で表示
≪6≫ WordとExcelの相互変換方法
変換手順は、・Word形式 → html形式 → Excel形式
逆に・Excel形式 → html形式 → Word形式
≪7≫ Word文書中の蛍光ペンのテキストを抽出するWordマクロ
≪8≫ Excelの便利なショートカット一覧
≪9≫ 画面スクリーンショットの色々な撮り方 ★マニュアル作成等にて重宝します。
（1）標準的な方法である【PrtScr】→ クリップボードへ保存、貼付
以外の方法を紹介します。
やり方（2）：特定の部分を切り抜きたいとき 【Windows】＋【Shift】＋【S】
「切り取り＆スケッチ」が起動されるので、範囲を選択して切取、貼付して下さい。
やり方（3）：画像ファイルとして保存したいとき 【Windows】＋【PrtScr】
各人PCの [ピクチャ]フォルダ → [Screenshots]フォルダに自動保存されます。
今回は以上となります。
みなさま、ぜひお試し下さい！
過去のtipsも併せてご利用下さい。
社員に訊いてみました ~PC小技いろいろ 2024秋 編~
先日、組合執行委員として、災害ボランティアスキル習得のための基礎講座を受講してきました。
実践演習含めの1泊2日。
中身が濃すぎて、お届けしたいネタが満載なのですが、今日はそこからひとつ、防災ゲーム「クロスロード」をご紹介します。
（想像力を高めて「もしも」に備えるゲーム）
●総務省消防庁／防災ゲーム「クロスロード」（ご参考）
流れを簡単に説明しますと、
1）ジレンマカードをひとりが読み上げます
★たとえばこんなケース
＝＝＝＝＝
あなたは市役所の、食料担当の職員です。
地震から数時間たち、避難所には3,000人が避難しています。
でも、今日確保できた食料は2,000食だけで、全員には行き渡りません。
さて、あなたはまずこの2,000食を配りますか？
＝＝＝＝＝
2）「YES（配る）」・「NO（配らない）」のカードを自分の前に裏に向けてだす
3）一斉にカードをオープン
4）多数派が座布団（1得点）GET！ ひとりだけの時は金座布団（2得点）GET！
実際、このケースが読み上げられたとき、わたしは金座布団をGETしました。
5名のうち、ひとりだけ意見が違ったわけです。
さて、どちらにしたかというと……
「YES（配る）」。
個人的な意見としては、2,000食あれば、まずは必要な人に配布します。
たしか、実際のカードには「残り1,000食の目途がたっていない」と記載もありましたが、「そもそも先のことなんてわからない」わけですから、
いま目の前に2,000食あるなら、必要な人に配布すべきという考えです。
ただ、その状況で配布したら「混乱する」や「暴動が起きる」のような意見もありました。
（わたし以外の4名はそちら側。ただ、話していて、意見が変わった方もいらっしゃいました）
ここに「正解」はありません。
周りの空気や状況によって、もしかしたら、私も意見を変えるかもしれない。
そこで何が大切なのか？
それは、「まず決める」こと。
情報が少ない中でも「決断をする」こと。
そのことが、とても大切なのだと学びました。
状況は刻一刻と変化していきます。
だからこそ、正解を求めすぎずに、その時々で自分なりの「決断」をしていきたいですね。
（文責：菅千絵子）