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Si深掘りエッチングで、ウェーハ外周の形状が傾くメカニズムとは
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高均一なプラズマによるチルティングレスSi 深堀りエッチング
MEMSデバイスなどに求められるSi深掘りエッチングの加工精度は、年々高まっています。なかでも、イオンの入射角が斜めになることでエッチング形状が傾く「チルティング」は、大口径ウエハの処理で生じる技術課題の1つです。ウエハ面内の形状ばらつきは、歩留まりや品質の安定にも影響します。
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社員に訊いてみました ～私の趣味？ 楽しみ？～
皆いろいろな小技大好き、Fです。
睡眠時間を少しでも長くとるために、キーボード入力を心がけています（無理矢理にでも日日鍛錬）。
『この小技はよかった！』 、『もっと早く知りたかった』 等、複数のみなさま（N=６名）からお声をいただけましたものを共有させていたただきます。
1. 離席時にPC画面をロック
ちょっとした離席時でも他者に画面を見られないようにロックします。
やり方：【Windows】＋【L】
2. pdf形式ファイルを全画面表示する。 Adobe Acrobat Reader使用時
やり方：【Ctrl】+【L】 終了は 【Esc】
▲注意：インターネットブラウザで閲覧の際には有効ではないようです。
3. いつでも どこでも どのアプリでも 検索開始
やり方：【Ctrl】+【F】
4. Microsoft Excelで、セル内を編集開始する
やり方：【F2】 を押す
5. Microsoft Excelで、最後の行／列まで即時一挙に移動する
やり方：【Ctrl】+行きたい方向矢印キー【↓】【→】【↑】【←】
さらに進んで、全選択したい時
【Shift】+【Ctrl】+行きたい方向矢印キー【↓】【→】【↑】【←】
6. pdf形式ファイルをMicrosoft Word文書形式に変換する。
＝ テキストデータや画像データへ変換できます。
やり方：Wordを起動 >［ファイル］開く >［参照］ >
Word化したいpdfを選択して開く
または
やり方：pdfファイルを開いた後、［マウス 右クリック］から
［プログラムから開く］>［別のプログラムを選択］、下の方にある［その他のアプリ］>［Word］を選択
7. Microsoft PowerPoint スライドショーの時に
開始：【F5】
終了：【Esc】 ★★★どのアプリでも共通して、困ったら 【ESC】 キーに頼ってみる。
8. PowerPointで作成時、選択しづらい図形要素を選択する。
やり方：まずは図形要素を１つ選択した後、【Tab】
を押す度に要素間で移り変わっていく。
9. 半角スペース ⇔ 全角スペース の入力を切り替える
やり方：【Shift】 を押しながらスペースキーを押す
10. 起動中のアプリ・フォルダを切り替える
やり方：【Alt】+【Tab】
おまけ. Windowsキーは、とても便利
例）開いているウィンドウを一括同時にすべて最小化し、デスクトップを表示
やり方：【Windows】＋【D】
編集後記 〜時短で日常を面白く～
今回の「PCの小技10選」、すでに使っていた小技はどれくらいありましたか？
たった数秒の時短でも、意識を向け始めると、あらゆるところにその意識が向くようになる気がします。
以前、時間管理のセミナーに参加したとき、講師の方がこんなことを話していたんです。
「靴下は、ユニクロで同じものを10足まとめ買いして、1年ですべて入れ替えます」
同じ靴下なら、洗濯後にペアを探す必要もないし、片方だけ傷んでも困らない。
だから、そう決めているのだとか。
お洒落さんにはちょっと引かれていましたが（笑）、毎日の小さな面倒を、仕組みでなくしてしまう。
その発想が面白くて、私は妙に感心してしまいました。
後に私が購入することになった『仕事を高速化する「時間割」の作り方』にも、このエピソードが紹介されています。
中でも、印象に残っているのが、こんな問い。
「なぜ子どもは時間を守れるのに、大人は守れないのか？」
学校には「時間割」があるので、否が応でもその通りに行動します。
一応真面目な方だったので、うんざりするような数学の授業だって、時間が来れば着席して、真面目に先生の話を聞いていました。
（身についているかは別の話。笑）
ところが大人になると、時間割がなくなり、やりたいこと・やるべきことが混在して、いろんなことが後回しに。
そこで大切なのが、「自分で時間割を作ること」。
私はこの本を読んでから、Googleカレンダーに、やりたいことも、やるべきことも、しっかりスケジューリングするようになりました。
嫌だな、面倒だな、と思うことも、その時間が来たらやる。
そんな習慣が、いつの間にか身についています。
考えてみると、PCのショートカットも、靴下のまとめ買いも、時間割も、根っこは同じなのかもしれません。
「もっと楽にできないかな？」と考えて、自分なりの仕組みを作ること。
楽をするために、ちょっと頭を使う。
そして、その工夫を使いこなしている自分が、ちょっと好きになる。笑
そう考えると、時短って、単に時間を節約することではなく、日常をちょっと面白くすることなのかもしれません。
（文責：菅千絵子）