メールマガジン
SPT通信 vol.41
ミニマルファブ装置とは？多品種少量に適した半導体製造ソリューション
【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします
【02】新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
【03】装置特集：ミニマルファブ装置
【04】遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中！~
【05】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
■社員に訊いてみました ~ガーデニングに魅せられて~
■編集後記 ~極めている人の話は面白い~
【01】
「LinkedIn」フォローよろしくお願いします！
今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなって行きます。
そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。
海外での認知を上げるべく、毎週木曜日に英語で、SPT最新情報、製品情報、技術情報等、発信しています。
が……フォロワー数はまだ49名と少なく、伸び悩んでおります……。
（前回のメルマガ配信から4名増えました！ ありがとうございます！）
そして、まだ登録されていない方は、是非ともご登録いただきたく存じます！
また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎！
ぜひぜひ、SPTをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。
SPTのLinkedInを見る【02】
新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
SPPテクノロジーズでは、超低ダメージプロセス装置を『SEMICON Japan 2023』弊社ブースにて発表させていただきました。
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」
デモンストレーションご要望をお待ちしております。
特長
熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料（レジスト膜、樹脂基板等）の上への良質成膜を可能としました。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus 300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。
想定するアプリケーションの例
- 量子コンピュータ素子部（ジョセフソン接合部）
- 光学デバイス（LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板等利用）
- 大口径ウェハ パワーデバイス（プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制）
超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー
特長
従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。
想定するアプリケーションの例
- 高周波HEMTデバイス
- 受光デバイス
- 発光デバイス、例えば、マイクロLEDの高輝度化
【03】
装置特集：ミニマルファブ装置
今回は、「ミニマルファブ装置」を紹介させていただきます。
“ミニマルファブ”とは、現在の半導体量産ライン(メガファブ)ではコストが合わないような、多品種少量向けのデバイスの市場に向けた、革新的な半導体生産システムです。
0.5インチウエハを用いクリーンルーム設備不要で設備投資を大幅に抑制でき、装置幅(30cm)を含む外形デザイン、操作方法など厳格な統一規格を持った小型・低価格な装置群で構成されています。
本製品の特長
SPTでは現在３種類のプラズマ装置（Si-DRIE、TEOS-CVD、Metalエッチャー）を提供しております。
- Si-DRIE：ボッシュプロセスによる高アスペクトシリコン深掘り加工を実現します。
- TEOS-CVD：TEOS材料を用い300℃以下の低温にてSiO2膜成膜が可能です。
- Metalエッチャー：塩素系ガスによるAl配線エッチングが可能です。
塩素系ガスに対する安全仕様も実装しています。
新開発技術
国内量産実績のあるSPTプラズマエッチング装置、CVD装置のプロセスチャンバをリファレンスとし、同等のプラズマ密度とバイアスエネルギーを得るプラズマソース、RFシステムを開発。
ミニマル統一規格の筐体に内蔵可能な、各コンポーネントのミニチュア化も実現しました。
適用アプリケーション
多品種にわたる迅速な製品開発と市場リリースが要求されるIoT/AI向けデバイスや各種MEMSセンサデバイスにとって、ミニマルファブは最も適したソリューションであり、当社製ミニマル装置は製品開発、量産への早期展開に大きく貢献します。
【04】
遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中！~
SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢を反映した新しいサポートサービスの形態です。
- “ 必要な時に繋がる安心 ”
- “ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
- “ 熟練技術者による高度な支援 ”
- “ 原因特定・移動時間の削減 ”
- “ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”
これらを提供いたします。
具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客さま現場と弊社サポート員をつなぎ、リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。
多くの方に実感していただくためにも、トライアルも積極的に取り組んでまいります。
ご興味がございましたら、ぜひお問い合わせくださいませ。
【05】
定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
社員に訊いてみました ~ガーデニングに魅せられて~
品質保証を担当しておりますIと申します。
昨年末の1回目の寄稿（鯖缶を用いた簡単レシピ）に引き続いて、私の第二の趣味であるガーデニングへの想いを熱く語らせていただこうと思います。
両親がガーデニングを楽しんでいるのを幼少のころから見たり手伝ったりしているうちに、私も家を持つならガーデニングが出来るくらいの庭が欲しい！という想いを自然と持っていることに気が付きました。
刷り込み？ というのは恐ろしいものです。
結婚して、そろそろ持ち家を検討しようか、と妻と相談する中で、弊社尼崎工場がある尼崎市の物件をデートがてら見学に行くと、予算に対してガーデニングが出来る程度の庭を持つことなど恐れ多いことが判り、しょんぼりして帰宅したのを覚えています。
そこで、通勤が大変ではない、ガーデニングが出来る庭を確保できる、という仕様を元に色々探しているうちに、とある新興住宅地にたどり着きました。
山を削って造成したその住宅地は、伊丹空港を眼下に一望でき、夏は多くの花火大会が見れるなど、希望以上のメリットがありました。
即決でした。
後から知ったことですが、その都市は園芸が盛んで、多くの園芸店があり、ガーデニング好きにとっては正にパラダイスでした。
家を探すときにいい物件に巡り合えるのは運と良く聞きますが、私は運が良かったのだと思います。
家が建って生活が落ち着いたころからガーデニングをスタートし、今まで色々な果樹や草木を植えて世話や収穫などを楽しんできました。
好みや環境が違うかもしれませんが、私が植えてよかった果樹や草木をご紹介します。
（1）【さくらんぼ】 春に桜の花を観賞することができ、そのあとは沢山の実を収穫・味わうことが出来ます。毛虫退治や実を狙ってくる鳥と格闘することはありますが、それもお世話の醍醐味と考えて楽しんでいます。
（2）【びわ】 それ程多く結実しませんが、買えば意外と高いびわの実を、それほどお世話せずとも毎年コンスタントに楽しむことが出来ます。
●びわの木
●びわ収穫
（3）【桔梗（キキョウ）多年草】（毎年お花をつける種類）で一度植えてしまえば、毎年お花を楽しむことが出来ます。難易度が低く、きれいな紫の花が咲きます。
好きな戦国武将の明智光秀の家紋でもあります。花言葉が「永遠の愛」なのもステキですね。
（4）【ツルバラ】 庭に入る所にツルバラのアーチがあるイングリッシュガーデンに憧れてアーチを作ってみると、アーチの奥に見える芝生が映えて庭がオシャレになりました。
花の咲いている期間は短いですが、お世話の工数も少ないのもポイントです。
虫が苦手という方もいらっしゃると思いますが、身近にお花があると生活が華やかになります。
プランターや鉢を玄関先に飾るだけでも、お客様にいい印象を持ってもらえますので、オススメです。
今以上に華のある生活はいかがでしょうか。