メールマガジン
SPT通信 vol.42
Si DRIE装置「Predeus」特集と低ダメージプロセス技術（Capella）紹介
【01】「LinkedIn」フォローよろしくお願いします
【02】新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
【03】装置特集：Si DRIE装置「Predeus」
【04】遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中！~
【05】定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
■社員に訊いてみました ~わたしのお気に入り喫茶店・3選~
■編集後記 ~兄と弟どっちが先に生まれた？~
【01】
「LinkedIn」フォローよろしくお願いします！
今後は我々SPTも広く世界に向けたサービスをおこなって行きます。
そこで、世界最大のプロフェッショナルネットワーク「LinkedIn」を始め数か月。
海外での認知を上げるべく、毎週木曜日に英語で、SPT最新情報、製品情報、技術情報等、発信しています。
が……フォロワー数はまだ50名と少なく、伸び悩んでおります……。
まだご登録されていない方は、是非ともご登録いただきたく存じます！
また、「このような情報を発信して欲しい」というようなご意見も大歓迎！
ぜひぜひ、SPTをフォローいただき、一緒に盛り上げてくださるとうれしいです。
SPTのLinkedInを見る【02】
新製品のご紹介！~超低熱ダメージPECVD装置「Capella」・超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー~
SPPテクノロジーズでは、超低ダメージプロセス装置を『SEMICON Japan 2023』弊社ブースにて発表させていただきました。
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」
デモンストレーションご要望をお待ちしております。
特長
熱ダメージを抑えるテクノロジーにより、熱に弱い材料（レジスト膜、樹脂基板等）の上への良質成膜を可能としました。SiO2膜、SiN膜の形成が可能。
低温100℃の成膜環境でも、従来機Cetus 300℃成膜と同等の高品質の膜質を実現します。
想定するアプリケーションの例
- 量子コンピュータ素子部（ジョセフソン接合部）
- 光学デバイス（LiTaO3基板、LiNbO3基板、GaSb基板等利用）
- 大口径ウェハ パワーデバイス（プロセス中の熱履歴による基板歪みの抑制）
超低プラズマダメージ 中性粒子ビームエッチャー
特長
従来のプラズマエッチング装置と比較して、エッチングダメージを抑制することが可能です。
プラズマより発生するイオンやUV光を遮断するハードウェア機構により実現しています。
想定するアプリケーションの例
- 高周波HEMTデバイス
- 受光デバイス
- 発光デバイス、例えば、マイクロLEDの高輝度化
【03】
装置特集：Si DRIE装置「Predeus」
今回は、「Predeus」を紹介させていただきます。
ボッシュプロセスにSPT独自技術を加え確立したMEMS用シリコン深掘り装置のベストセラー機です。
これまでに培ってきたプロセスノウハウを最大限に発揮できるように継続改善を重ねたハードウェアモジュールとプロセスソフトウェアを搭載し、お客様ご所望の加工に最大限お応えします。
本製品の特長
ウェハ面内でのTiltingを抑制し、収量向上を実現します。
機器の改善により、電力削減効果を期待いただけます。
新開発技術
新開発の高均一プラズマ源（プラズマ生成・輸送を詳細に検討・改善し、均一なプラズマ密度を達成）、新高速スイッチング手法、イオン垂直入射ESCを備え、高精度／高均一性／高速／低スキャロップ加工を実現します。
適用アプリケーション
高精度加工を必要とするMEMSデバイス、従来MEMSデバイスにおける収量向上、パワーデバイス、フィルタデバイス、シリコンフォトニクス 等、将来に向けた各種量産にてご利用下さい。
【04】
遠隔支援サービス提供中 ~SPT YouTubeチャンネルで動画も配信中！~
SPT遠隔支援サービスは、現在の社会情勢を反映した新しいサポートサービスの形態です。
- “ 必要な時に繋がる安心 ”
- “ 対象装置以外を隠す 【デジタル遮蔽機能】 による情報漏洩の防止 ”
- “ 熟練技術者による高度な支援 ”
- “ 原因特定・移動時間の削減 ”
- “ 視界共有と音声通話で隣にいるような安心感 ”
これらを提供いたします。
具体的には、Microsoft HoloLens 2（Microsoft 社）を通して遠方のお客さま現場と弊社サポート員をつなぎ、リアルタイムでお困りごとへの対応、装置の予防保全などの作業支援が可能なサービスです。
また、指導者を派遣することなしに、装置の技術指導などのトレーニングもお手伝いいたします。
多くの方に実感していただくためにも、トライアルも積極的に取り組んでまいります。
ご興味がございましたら、ぜひお問い合わせくださいませ。
【05】
定期メンテナンス契約／スペアパーツ販売／装置アップグレード／トレーニングのご案内
定期メンテナンス契約
SPTのカスタマーサポート員と一緒に、定期的に装置の稼働状態をチェック＆メンテナンス。
予防保全をしていただくことで、装置故障間隔を延長、重大故障発生を防止させていただきます。
スペアパーツ販売
装置停止、生産停止の時間を最短にしていただきたい。
未だに続くサプライチェーンの混乱のため、部品入手までの時間がかかっております。
今のうちに、スペアパーツの確保をしていただけませんか？
装置アップグレード
最新のSPTテクノロジーを適用し、加工性能の向上、ランニングコストの低減、省エネルギー化、稼働状態の見える化等、期待していただけませんか？
トレーニング
オペレーション、メンテナンスなどの装置トレーニングも随時受付中。
弊社の熟練サポート員が丁寧に指導させていただきます。
社員に訊いてみました ~わたしのお気に入り喫茶店・3選~
皆様方こんにちは。
SPPテクノロジーズ のＯでございます。
夏の疲れが出る頃ですが、お元気でお過ごしでしょうか。
さて、本日は SPT通信 編集者の菅さんよりお声がけいただきましたので、僭越ながら筆を執らせていただきました。
とは言いましても、今まで登場した方々のように皆様を惹きつけられる趣味があるわけでも、とっておきの美味しいご飯屋さんを知っているわけでもございませんので、お気に入りの喫茶店でもお伝えしようかと思います。
マヅラ喫茶店（北新地）
大阪駅前第1ビルの地下一階にございます喫茶店です。
写真映えするようなメニューがあるわけではありませんが、昔ながらの雰囲気を楽しめます。
喫煙可能な店内ですので、私のような喫煙者には落ち着く空間なのですが、煙草が苦手な方はご注意ください。
おすすめメニューはコーヒー＆タマゴサンド。
甘いものが好きな方であれば、フルーツサンドやプリンアラモードもおすすめです。
喫茶ビクター（扇町）
扇町駅から少し歩いたところ、商店街の中にある喫茶店です。
こちらも先ほどと同じく、全席喫煙可能の昔ながらの喫茶店です。
おすすめメニューはピザトースト。
こちらはパフェやパンケーキなど、甘いメニューも充実しておりますので甘いものが好きな方は試してみてください。
喫茶ドレミ（恵美須町）
こちらは通天閣の真下にございます喫茶店です。
看板を兼ねた緑と黄緑の庇屋根は、大阪観光の際に見たことがあるという方も多いのではないでしょうか？
先の2件よりもかわいらしい外装で、比較的女性でも入りやすいかと思います。
こちらのおすすめは名物メニューにもなっているホットケーキです。
焼き上がりまで20~30分ほど待つことになりますが、待つだけの価値はございますので、足を運ばれた際にはぜひ試してみてください。
編集後記 ~兄と弟どっちが先に生まれた？~
前述で「思い出」について記しましたが、思い出ってどっから引っ張られてくると思いますか？
はい、それは「言葉（ワード）」です。
そして、ピザトーストとともに、こんな記憶も引っ張り出されました。
我が家は共働きだったので、小学生の頃から私は「鍵っ子」。
だから帰宅後小腹が空いていたら食べられるように、冷凍食品は常備されていたんだな、と思った今、そこに付随して「やさしい母」という記憶が呼び起されました。
今、目の前にはいませんが、私の現実にはたしかに「やさしい母」が現れました。
しかし、先日実家に帰って母と口喧嘩したことを思い出してみると……
また違う母が私の前に現れました。
「口うるさい」「面倒くさい」そんな言葉から生み出された母です。
母は一体何者なのか？
すべて現実だと思われることは、「言葉」から生み出されます。
さて、ここで手に取ったら、面白いくらい最近の自分にシンクロした書籍をご紹介します。
●『自分とか、ないから』（著）しんめいP
教養としての東洋哲学。
東大卒のこじらせニートが超訳。
ここで書籍の中からひとつ質問です。
Q.兄と弟どっちが先に生まれた？
おそらくみなさん即答できますよね。
けれど、そこをグッと我慢して、2分間考えてみてください。
正解は、「同時」。
弟が生まれなければ、兄という存在にはならなかった。
自分が何者であるかさえ、言葉（概念）で変わってしまうのが「現実」。
だからそもそも「これが自分」と思っている「自分」なんてないわけです。
他人もそして自分さえも、「これ」という確固たるものはない。
だからこそ、自分の言葉で自分というものを創り上げたいと思います。
（文責：菅千絵子）