メールマガジン
SPT通信 Vol.67
エッチングだけじゃない、SPTの成膜力！
【01】装置特集 ～SPT成膜技術のご紹介～
【02】アフター営業グループからのご案内
社員に訊いてみました ～「毎日続けられる簡単ダイエット」これで三日坊主を卒業！～
編集後記 〜「1回だけ」が人生を変えるのかもしれない～
【01】
装置特集 ～SPT成膜技術のご紹介～
SPPテクノロジーズは、エッチング装置を得意としていますが、実は、いろいろな成膜装置、成膜プロセスも提案をさせていただいております。
様々なウエハーの上にSPTが得意としているプラズマを使って膜を付けることができます。この技術はPECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) と呼ばれます。
※ウエハー表記は経済産業省発行の資料に倣っています。
例えば、安全保障貿易管理 Export Control
経済産業省 安全保障貿易管理ページはこちら
しばしばうかがうご要望としては、300℃くらいまでなら温度上げてもいいから
- デバイスを保護してくれる膜（硬い）
- 湿気から守ってくれる膜
- 電気を遮断する膜
- 赤外光を漏らさず閉じ込める膜
気にされるのは、
- 基板から剥がれたりしないの？
- 凹凸のある表面の上にも、隙間や空洞なくぴったり付けられるの？
- 長い時間経っても安定しているの？ ＝膜の各種特性値は変わらないの？
- 成膜容器の中はどうやってクリーニングするの？ ドライクリーニングはできるの？
最近のご要望ですと、
- 100℃くらいの温度で膜を付けられないの？
▲プロセス前後の温度差でウエハーが割れてお困りとのこと。
- 10μmの厚さで膜を付けられないの？ など
他にも、
- 良質の膜を、一度にたくさん作りたいのだけど
- 1日にたくさんのウエハーを処理したいのだけど
などがあります。
また、こちらのご要望には、縦型熱処理装置部門（本拠地：カリフォルニア州）がお応えできます。
※バッチ型成膜（縦方向にウエハーを平行積み上げ）200枚で一括同時にプロセス
ウエハーを加熱する温度は、PECVDの温度＋500℃～、1000℃くらいまでをご想像ください。
プロセス実例等は下記のリンクをご参照願います。
酸化膜／窒化膜用 PECVD装置「Cetus」詳細はこちら
低熱ダメージ PECVD装置「Capella」詳細はこちら
縦型熱処理装置部門の取り扱い装置はこちら
プラズマエッチング装置だけでなくプラズマ成膜装置でも、ぜひSPTにお声かけください。
お問い合わせ【02】
アフター営業グループからのご案内
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ～「毎日続けられる簡単ダイエット」これで三日坊主を卒業！～
こんにちは。資材部のHです。
健康診断の結果や、鏡を見るたびに「ダイエットしないと……」と思いつつ、厳しい食事制限や激しい運動はなかなか続かないものです。
「明日から頑張るぞ！」と気合を入れがちですが、実は日々のちょっとした隙間時間の積み重ねが一番の近道だったりします。
「これなら毎日続けられる！」という、超お手軽なダイエット習慣をご紹介します。
【1. デスクワーク中にお腹痩せ！】
仕事中、椅子に座りながらお腹をぐーっとへこませて30秒キープ。これだけです！
腹筋に力を入れるのを思い出すたびにやるようにしたら、きつかったズボンが少し楽になりました。人に見られてもバレないので、会議中でもできます。
【2. 飲み物を「常温の水」か「炭酸水」に変えるだけ】
甘いカフェラテを常温の水に変えました。冷たい水より代謝が落ちにくい。
どうしてもお腹が空いた時は、炭酸水を飲むと満腹感が出て間食を防げます。特別な運動はしていませんが、むくみが取れてスッキリ！
【3. まずは野菜（またはスープ）から食べる】
食べる順番を変えるだけで、脂肪の吸収、血糖値の急上昇を抑え、体に脂肪がつくのをブロックしてくれます。
外食でも、まずはおひたしやサラダ、お味噌汁から。
【4.「歯磨き中」のつま先立ち】
毎日必ずやる歯磨きの時間。この3分間をつま先立ちで過ごしています。
ふくらはぎを刺激すると第二の心臓が動く感じで、血行が良くなりむくみ・冷えの改善。
下半身の筋肉（太もも、お尻、お腹）を刺激し、基礎代謝を高めますよ。わざわざ時間を取らなくていいので、続けられています！
「今の生活スタイルを崩さず、ついでにやる」こと。
特別な準備も道具もいりません。まずは今日のランチ後の歯磨き中や、デスクでの作業中に一つだけ試してみませんか？
編集後記 〜「1回だけ」が人生を変えるのかもしれない～
「これなら続けられそう」
そう思えることって、実はすごく大切です。
ハードルが高すぎると、人は始める前に疲れてしまうから。
だからこそ、“続けられる形を探す”ことには意味があります。
けれど最近、ある本の一節に、ふと考えさせられたんです。
「とりあえず、“1回だけ”やってみませんか？」
たとえば、少し苦手なあの人に、
「今日だけ、笑顔で話しかけてみる」
あるいは、後回しにしていたことを、
「5分だけやってみる」
続けるかどうかは、そのあとの自分が決めればいい。
ただ、“一度やったことがある自分”と、“まだ一度もやっていない自分”の間には、思っている以上に大きな差があります。
1回やってみたことで、
「意外とできた」
「思ったほど嫌じゃなかった」
そんな発見が生まれるかもしれないし、
「やっぱり嫌だ」
「無理をするのはやめよう」
と逆に自分の意志を固くするかもしれない。
どちらにしても、“1回だけやってみる”というのが、案外すごいことなのかもしれません。
もちろん、ダイエットで結果を出すには、継続の力が大切です。
とはいえ……ふと思ったのです。
「同じことを続けなくても、“ダイエットを続ける”ことはできるのでは？」
今日は、カフェラテを常温の水にしてみよう。
今日は、お腹をぐーっと凹ませてみよう。
今日は、歯磨き中に爪先立ちをしてみよう。
今日は、野菜から食べてみよう。
今日は、一駅歩いてみよう。
今日は……
毎日何かを「1回だけやってみる」。
ひとつのことを完璧に続けなくても、「健康を意識すること」は続けられる気がしませんか？
すると不思議なことに、「1回じゃ物足りないな」という気持ちが少しずつ生まれて、小さな継続につながっていく気がしています。
ということで、まず今日は“1回だけ”何をしてみますか？
（文責：菅千絵子）