メールマガジン
SPT通信 Vol.66
SPT最新3機種で「成膜・エッチング」の課題解決を加速！
【01】装置特集 ～SPT最新３機種のご紹介～
【02】アフター営業グループからのご案内
■ 社員に訊いてみました ～入社3年目の私が感じた、この業界の面白さ～
■ 編集後記 〜リアクションは疲れるけれど、アクションは疲れない？～
【01】
装置特集 ～SPT最新3機種のご紹介～
- 超低熱ダメージPECVD装置「Capella」
- 超低プラズマダメージ中性粒子ビームエッチャー
- 難エッチング材料向け 高速RIE「Sculptor」
３機種を新規に開発し、デモンストレーション、販売を承っております。
デバイス性能、デバイス動作効率のさらなる向上を目指され、プロセスダメージを与えたくない（イオンも、紫外線も、熱も）とのお望みをいただくようになりました。
デバイス完成率の向上にも貢献できます。
例えば、
熱衝撃（プロセス温度の上昇下降）によって基板が歪んで割れてしまったり、耐熱温度以上の昇温で樹脂（フォトレジストやテープ）が溶けてしまったり。
樹脂層があっても良質の膜（酸化膜や窒化膜）を付けられたら、今までとはまったく違った高性能デバイス構造や製造プロセスをデザインできるかもしれないのに……
とのお声をいただくことも増えました。
超低熱ダメージPECVD装置「Capella」をお使いいただくことで、低温100℃の成膜温度でも従来機Cetus 300℃成膜と同等の特性を持つ高品質の膜を実現可能です。
また、SPPテクノロジーズと言えば深掘り技術の老舗！ Si DRIEは今年で30周年。
難エッチング材料向け 高速RIE「Sculptor」はSiCの深掘り、ガラスの深掘り、多種多様な材料の深掘りを想定した装置です。
新規開発のチャンバ内構造を採用し、メンテナンス間隔を延ばすことに成功しました！
エッチングマスクの作製もSPTのCVD装置、量産＆研究開発の設備一式をお任せ下さい。
実はLPCVD装置（最高プロセス温度：1,150℃程度）も取り扱っております。
このつづきは次号で。
これからも変わらず、お客さまに寄り添った新しい提案をさせていただきます。
各種プロセスへのご相談をお待ちしております。
お問い合わせ【03】
アフター営業グループからのご案内
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ～入社3年目の私が感じた、この業界の面白さ～
はじめまして。新卒3年目のＭです。
正直に言うと、入社前の私は「半導体」と聞いても、スマートフォンやパソコンに入っている“すごそうな部品”というくらいの認識でした。
しかし、SPTに入社してから、「半導体って、こんなに面白い世界だったのか」と感じ、今ではすっかり夢中になっています。
今日は、そんな私が感じた半導体の面白さを3つお伝えできればと思います。
1. 変化のスピードが速すぎる
入社時から「半導体業界はスピード感のある業界」と聞いていましたが、実際に2年間働く中で、その速さを実感しました。
日々の業務では、部品改定や新規設計など、「変わること」が当たり前です。
また、入社時には「シリコンサイクル」や前工程の話が中心でしたが、最近受けた講義では「スーパーサイクル」「ダウンサイクル」といった言葉が自然に使われ、後工程のパッケージング技術の重要性が強調されていました。
2～3年後に同じ講義を受けたら、どんな内容に変わっているのだろうと思うと、とてもワクワクします。
変化の最前線をニュースではなく、“職場”で体感できること。
それが、半導体製造装置メーカーで働く面白さだと感じています。
2. 半導体は“生活そのもの”
大学時代の私は、レポートの構成を考えるのにも時間がかかり、プログラミングにも強い苦手意識がありました。
しかし今では、生成AIに質問すれば構成案やコードの修正方法もすぐに教えてくれます。
そして、その背景には、GPUやメモリ性能の進化など、半導体技術があることを知りました。
それ以来、日常の中で「あ、これは半導体の影響だ」と感じる瞬間が増えました。
これまでにない視点で、日常が便利になった裏側の仕組みを少し理解できるようになり、とても面白いです。
3. 見えないのに社会を動かしている
入社前の私は、半導体を「専門的で難しそうな世界」だと思っていました。
実際、最初はエッチングやデバイス構造など専門用語も多く、ナノレベルの世界は想像しづらく、正直戸惑いました。
でも、だからこそ面白いと感じています。
もし半導体が止まれば、スマートフォンも、自動車も、医療機器も止まってしまいます。
ナノレベルの世界が、社会全体を支えている。
この「見えないのに社会を動かしている」構造に気づいたとき、半導体の世界に一気に引き込まれました。
そして何より、「知らなかった自分でも、学びながら関われる」ということ。
専門用語や工程は確かに難しいですが、半導体業界は専門性が高い分、学べば学ぶほど新しい発見があり、見える景色が変わっていく世界だと感じています。
これからもこの業界で多くの“ワクワク”を見つけながら、いつか自分自身もそのワクワクを届けられる一員になれるよう、挑戦していきたいと思います。
編集後記 〜リアクションは疲れるけれど、アクションは疲れない？～
4月も半ば。
少しずつ、多忙感がでてくる頃かもしれません。
今回ご紹介したＭの文章を読みながら、私はある言葉を思い出していました。
「リアクションは疲れるけれど、アクションは疲れない」
先日参加した、読書会で出てきた一節です。
リアクションは、誰かや何かに対する“反応”。
どうしても受け身になりやすく、疲れも溜まりやすい。
一方でアクションは、自分で選び、決めて動くこと。
同じように動いていても、不思議と疲れ方が違います。
Mの言葉にあった、「変化の最前線を“職場”で体感している」という感覚。
あれもきっと、ただ与えられた環境に反応しているのではなく、その変化に“自分から関わっている”からこそ、生まれる面白さなのだと思います。
仕事をしていると、突発的な依頼や、「これは自分の仕事なのか？」という場面が訪れることもあります。
そんなときこそ、一度立ち止まってみる。
その出来事を「自分ごと」として捉えてみる。
それだけで、同じ一日でも「振り回された」と感じるか、「自分で舵を握った」と感じるか、大きく違ってきます。
もちろん、すべてをコントロールできるわけではありません。
ただ、その中でも少しだけ、「自分で決める余白」を持つことはできるはず。
- どの順番で取り組むか
- どのくらいのスピードで進めるか
- 誰にどう相談するか
そんな小さな選択の積み重ねが、受け身ではなく“自分の仕事”に変えていく。
すると不思議なことに、忙しさは同じでも、感じ方は少し軽くなる。
もしも今、少し疲れを感じているとしたら……
まずはひとつだけでも「自分で決める」を増やしてみてはいかがでしょうか。
今日のひとつ、どこで「自分の一手」を打ちますか？
（文責：菅千絵子）