メールマガジン
SPT通信 Vol.68
プロセスで選ぶRIE ― 精密Spica / 万能Sirius / 高速Sculptor
【01】装置特集 ～SPTのRIE装置群～
【02】アフター営業グループからのご案内
社員に訊いてみました ～20年の眠りを覚ます、私の「古民家再生」奮闘記～
編集後記 〜ラストシーンから書く～
【01】
装置特集 ～SPTのRIE装置群～
SPTでは、Si-DRIE以外に3種類のRIE装置を揃えています。
RIE: Reactive Ion Etching
化学反応も上手く利用して、エッチングしたい材料物質とプラズマを使って生成した反応性の高いガスから揮発性の化合物を作り、できたこの化合物をどんどん排気していくエッチング手法です。
ちなみに、各装置名は星や星座の名前にちなんでいます。
Spica:「スピカ」
おとめ座（やわらかなイメージ）を構成する星の1つです。
Sirius:「シリウス」
地球から見える恒星の中で最も明るい星の1つです。日本語では、天狼星（てんろうせい）とも呼ばれます。
Sculptor:「スカルプター」
ちょうこくしつ座。18世紀半ばに考案された“新しい星座”で、彫刻家のアトリエがモチーフとのことです。
そして名は、それぞれの装置の個性を表しています（？）
Spicaはやさしいやさしいエッチングを特に得意としています。今後の発展が期待される電子デバイス（次世代GaN-HEMTやInP-HEMT）作製にて、低“プラズマ”ダメージで、ゆっくりと精密にエッチング量をコントロールしていただけます。
低“熱”ダメージのPECVD Capella（「カペラ」冬の星座の中で「シリウス」の次に明るい星）も揃えておりますので、お声かけ下さい。
低熱ダメージPECVD装置「Capella」の詳細はこちらSiriusはオールラウンダー！ 多彩で柔軟なRIE装置です。RIE製品の中でも中心的存在、空、宙（そら）、全天（製造装置業界）に輝く一番星になりますようにという願いも込められています。
Sculptorは、ガリガリ削ります。Siriusに続くニューフェイスで、Si DRIE装置の開発・量産実績でも培われたSPT最新テクノロジーを盛り込んでおります。
- いろいろ削れます（難エッチング材料）
- 速く削れます
- 装置メンテナンス時間を抑えられる丁寧な作り（開発コンセプト）になっています。
みなさまにて生産性を向上いただけると自負しております。
どの装置もみなさまからのデモンストレーションご要望をお待ちしております！
おなじみの各営業担当やWEBSITEより、ぜひお声かけください。
【02】
アフター営業グループからのご案内
定期メンテナンス契約
「止めないための、ひと手間を。」
SPTのカスタマーサポートと一緒に、定期的に装置の健康診断。
予防保全で、故障のリスクをグッと減らし、トラブルの芽を未然に摘みます。
予備部品の購入・保有
「“まさか”の瞬間に備える安心。」
トラブルやサプライチェーンの乱れはいつ起こるかわかりません。
事前の準備で、ダウンタイムを未然に防ぎ、生産ロスを最小限に。
また、定期的な部品交換が装置全体の寿命を延ばします。
定期的なご購入は、ご要望いただければ、リマインド（電話・メール）させていただきます。
純正部品で常にベストな状態に。
安心のライン運用を行いませんか？
リモートサポートサービス
「困ったその時、“すぐに、つながる”安心を。」
視界の共有や音声通話で、まるですぐ隣にサポート担当がいるような安心感。
スピーディーな対応で、課題をその場で解決へと導きます。
装置アップグレード
「性能もコストも、一段上のステージへ。」
最新SPTテクノロジーで、加工精度の向上・コスト削減・省エネ化を実現。
稼働状況の“見える化”も可能に。
未来に備えるアップグレード、始めませんか？
学び直しトレーニング
「知識を“最新”に保つことが、最良の備えです。」
装置の操作やメンテナンス、忘れていませんか？
経験豊富なSPTサポート員が、実務に役立つトレーニングを丁寧に行います。
初心者の方も、再確認したい方も、お気軽にご相談ください。
社員に訊いてみました ～20年の眠りを覚ます、私の「古民家再生」奮闘記～
こんにちは。業務部部のＮです。
みなさんは、休日をどのように過ごされているでしょうか。
今回は、最近のライフワークになっている「古民家再生プロジェクト」での体験談をお話しさせてください。
実は現在、およそ20年間も人が住んでいなかった古民家の改修に取り組んでいます。
何年も前から雨漏りしていた形跡があり、建物はトラブルの連続。一筋縄ではいかない戦いの日々です。
まずは応急処置として、2階の窓から屋根へ出てブルーシートを掛けたのですが、傾斜のある屋根はとにかく不安定。
歩くだけで全身に余計な力が入り、その日のうちから見事な筋肉痛になりました。
「ダイエット効果が期待できるのでは……」と思ったのが最初の洗礼です。
その後、雨漏り解消のため大工さんに修理を依頼。
5月中旬の工事当日、無事に修理は終わったのですが、本当の戦いは家の中で始まっていました。
大工さんが来られる直前、雨漏りを受けていたタライの水に何かのハネが大量に落ちていたのです。
写真をAIに解析依頼してみたところ、返ってきた診断はまさかの「シロアリ」。
さっそく壁や天井をバリバリと剥がしてみると、そこにはAIの診断通り彼らの姿がありました。
家を支える「梁（はり）」の太さが本来の半分にまで細くなっており、薄い木材は指で押すとパリパリ簡単に砕けるスカスカ状態。
ひとまず殺虫剤をスプレーし、現在はプロの専門業者を選定している真っ最中です。
実はこの作業中、腐食が進んでいた床板をうっかり踏んでしまい、40センチほど足がストンと落下するハプニングもありました。
幸い怪我はなく一人静かに大笑いしてしまったのですが、同時に「『落ちる』という事象を前に、人間はあまりにも無力なのだな」という哲学的な思考と、「バラエティ番組の落とし穴に落ちる芸能人さんって、実は相当怖いことだったんだな……」という妙なリスペクトが頭をよぎりました。
今回の経験を通して改めて学んだのは、日頃からの掃除や整理整頓がいかに大切かということです。
シロアリは土でトンネルを作りますが、普段から空間に目が行き届いていれば、こうしたわずかな土汚れの異変にもいち早く気づくことができるからです。
これは私たちの仕事にも全く同じことが言えるのではないでしょうか。
大きなトラブルも、最初は目立たない小さな「いつもと違う違和感」から始まります。
日頃から業務環境を整理整頓し、見通しを良くしておくこと。高度な問題に発展させないための最大の防衛策なのだと、太さが半分になった梁を眺めながら改めて身が引き締まる思いがした、私の熱い休日の記録でした。
編集後記 〜ラストシーンから書く～
ラストシーンから書く。
By スティーブン・スピルバーグ
今回、Nの古民家再生奮闘記を受けて、個人的にも少し痛い思いをさせられました。
もちろん、床を踏み抜いたわけではありません。
「日頃からの整理整頓が大切」
この言葉には、思い当たる節が……。苦笑
そんな中で、思い出した言葉が、「ラストシーンから書く」です。
私が最近、とくに意識していることです。
映画には、必ずラストシーンがやってきます。
ラストシーンと聞くと、人生のラストシーンを思い浮かべる人が多いかもしれませんが、映画の主人公たちの物語は、その先も続いていきます。
そう考えると、私たちにも、人生の中で「ラストシーン」は幾度となく訪れています。
いま取り組んでいるプロジェクト。
開発や研究。
地域のイベント。
その一つひとつにラストシーンがあります。
「なんで上手くいかないんだろう」
「どうして伝わらないのかな」
時にはぶつかり合うこともある。
けれど、ラストシーンはハッピーエンドだと決めてしまう。
みんなで達成を祝い、肩を抱いて涙する（笑い合う）。
そんなラストシーンを描いて、それをみんなで共有できていたら、むしろ、この葛藤こそが物語を面白くするためのスパイスになる。
だから、Nの古民家再生奮闘記も、どうせラストはハッピーエンド。
シロアリとの戦いも、床の落とし穴も、すべては伏線です。
だから完成の日を楽しみにしながら、引き続き応援したいと思います。
（文責：菅千絵子）